бництво яких здійснюється з використанням технологій, розвинених в останні десятиліття в твердотільної мікроелектроніці. Електромеханічні вузли приладів цих типів формуються з неметалічних матеріалів (монокристалічний кремній, плавлений кварц, карбід кремнію тощо) методами фотолітографії і ізотропного або анізотропного травлення разом з елементами електроніки збудження, датчиками знімання і перетворення корисного сигналу, елементами формування зворотних зв'язків. Патенти на різні технічні рішення в області розробок мікромеханічних чутливих елементів отримані низкою провідних зарубіжних фірм (Draper Laboratory, Rockwell International, Systron Donner, Analog Devices, Sagem, Murata та ін.)
Лабораторія Ч. Дрейпера займається розробкою кремнієвих мікромеханічних гіроскопів і акселерометрів з початку вісімдесятих років. Сучасні ММГ Лабораторії показують стабільність систематичного дрейфу на рівні 0,5 град / с в діапазоні температур - 40 ° С + +85 ° С без термостабілізації і стабільність систематичного дрейфу при термостабілізації на рівні 1 град / ч. Наведені показники точності досягнуті в конструкціях ММГ, заснованих на використанні схеми, що містить дві чутливі маси в пружному підвісі. Чутливі маси за допомогою електростатичних віброприводів наведені в коливальні рухи в протифазі. Принцип дії приладу заснований на вимірюванні амплітуд кутових коливань рамки або поступальних коливань чутливих мас, що викликаються коріолісову силами інерції. При обертанні підстави щодо осі чутливості приладу виникають протилежно спрямовані коріолісову сили інерції чутливих мас, модулі яких пропорційні вимірюваній кутової швидкості. Залежно від прийнятої конструктивної схеми пружного підвісу коріолісову сили інерції викликають поступальні коливання чутливих мас або кутові коливання рамки, амплітуди яких пропорційні вимірюваній кутової швидкості. Необхідну величину амплітуди вимушених коливань чутливих мас і прийнятну точність вимірювання параметрів коливань, що викликаються коріолісову силами інерції, можна забезпечити лише при низькому рівні шумів, породжуваних електронними елементами і диссипацией енергії в пружних елементах осцилятора. Це завдання вирішується шляхом використання монокристалічного кремнію і мікроелектронних технологій його обробки, що дозволяє забезпечити добротність осцилятора на рівні 5-10. У конструкції ММГ застосовується динамічна настроювання і забезпечується підтримку суворого збіги частоти збудження з власною частотою чутливих мас на пружному підвісі. Необхідна смуга пропускання приладу досягається застосуванням системи зворотного зв'язку [17].
Фірма Systran Donner (США) серійно випускає мікромеханічні датчики кутової швидкості QRS11. Маса цього приладу складає 60 г, габарити 042x16 мм. Зсув нуля гіроскопа QRS11 становить менше 10 град / ч, нестабільність у запуску не перевищує 10 « град / ч. Гіроскоп QRS11 застосовується в серійно випускається корпорацією Rockwell International спільно з фірмою Systran Donner инерциальном вимірювальному модулі Motion Pack ™. Модуль містить три датчика кутової швидкості QRS11 і три кварцових акселерометра QFA7000 (маса кожного з акселерометрів 55 р. габарити 025x22 мм) з похибкою 10 »-Г 10" g. Інерціальна модуль Motion Pack ™ застосований в БИНС, інтегрованої з GPS. Натурні випробування системи на автомобілі і літаку підтвердили ефективність використання инерциального модуля для виключення втрати інформації при короткочасних перервах ...
