в може досягати 3% і вище, при цьому втрати у хвилеводах шириною 5 мкм на ? = 640 нм були менше 1 дБ/см.
У більшості випадків після проведення іонної імплантації необхідно провести відпал матеріалу підкладки при підвищених температурах для видалення наведених дефектів кристалічної решітки і для стимулювання заміщення введеними іонами власних іонів матеріалу. Після відпалу хвилеводи, отримані таким методом, мають майже такими ж характеристиками, що і хвилеводи, отримані методом дифузії. Однак імплантаційний метод представляє великі можливості для управління розподілом концентрації введених домішкових атомів завдяки зміні енергії та дози іонів з метою отримання заданого профілю. У процесах дифузії завжди приходять або до гауссова профілем розподілу домішкових атомів, або до профілю, описуваного додатковою функцією помилок залежно від типу джерела дифузії. Прикладом хвилеводу, виготовленого методом імплантації заміщають атомів домішок, є хвилевід з накладеною смужкою, в якому була використана імплантація іонів Ве + для отримання провідності р + -типу в смужці, накладеної на епітаксійний плоский хвилевід n - -типу. Метод імплантації заміщають атомів домішки був також використаний для виготовлення хвилеводів на основі CdTe, GaP і ZnTe.
Крім впливу, пов'язаного із заміщенням атомами домішки, іонну імплантацію можна також використовувати для таких хвилеводів, в яких збільшення показника заломлення досягається в результаті порушень в структурі кристалічної решітки матеріалу підкладки, що викликаються прискореними іонами, що не приймають участі в заміщеннях атомів.
Третій тип оптичних хвилеводів можна отримати методом іонної імплантації в деяких напівпровідниках, в яких можуть виникати центри для захоплення електричних носіїв. Опромінення протонами можна використовувати для генерації ушкоджень в кристалічній решітці, що призводять до утворення компенсуючих центрів, з метою отримання області з порівняно низькою концентрацією носіїв у підкладці, що володіє відносно великою концентрацією носіїв. Показник заломлення в області з більш низькою концентрацією носіїв дещо більше, так як вільні носії звичайно зменшують показник заломлення. Імплантованого протони самі безпосередньо не є причиною помітного збільшення показника заломлення; його зміна пов'язана із захопленням носіїв пастками, які знижують концентрацію носіїв. p align="justify"> Іонної імплантацією і бомбардуванням протонами можна отримувати заглиблені хвилеводи, що мають низькі втрати в таких матеріалах як кварц і LiNbO 3 . Однак висока вартість і складність обладнання, обмежують застосування цих способів на...
