>
у вигляді окремих блоків.
В
Малюнок 8 - Шафа електроніки. 1 - термоконтроллер: 2 - СЗМ контролер: 3 - контролер віброзахисного столу: 4 - контролер генератора магнітного поля: 5 - комп'ютер; 6 - контролер турбомолекулярного насоса: 7 - блок живлення вакуумметрів
2.7 Система термостатування зразка
Система термостатування дозволяє підтримувати температуру зразка з точністю В± Ol Вє С.
при охолодженні до 110 К (азотне);
до 50 К (гелиевое);
при нагріванні до 150 С.
Пристрій системи термостатування схематично показано на Рис. 9 а. br/>В
а) б)
Рисунок 9 - Система термостатування 1 - вакуумна камера. 2 - платформа-позиціонер. 3 - підстава тримача зразка. 4 - предметний столик. 5 - магістраль охолодження, б - нагрівальний елемент. 7 - терморезистор. 8 - посудина Дьюара. 9 - транспортна лінія. 10 - зразок. 11 - охолоджуючим елемент. 12 - фланець. 13 - роз'єм для підключення терм резистора. 14 - роз'єм для підключення нагрівального елемента
Охолодження (нагрівання) і підтримання необхідної температури зразка здійснюється за допомогою термостабілізіруемого держателя відвійок (див. поз. 3, 4 на Рис. 8) розташованого в платформі-позиціонері. На підставі тримача зразка закріплені нагрівальний 6 і охолоджуючий 11 матеріалів. Па фланці 12 розташовані вхід і вихід магістралі охолодження 5. а також роз'єми (див. поз. 13. 14 на Рис. 8.б) до яких підключені терморезистор і нагрівальний елемент.
В якості холодоагенту системи термостатування використовуються рідкий азот або гелій. Холодоагент подасться в охолоджуючий елемент по магістралі охолодження 5 і з'єднаної з її входом транспортної лінії 9. p align="justify"> РОЗДІЛ 3. ДОСЛІДЖЕННЯ наноструктурованого ПОВЕРХНІ НА АСМ SOLVERHV
.1 Підготовка до роботи
Підготовка Solver 1IV до роботи з використанням атомно-силової мікроскопії в умовах вакууму складається з наступних основних процедур:
. Установка зразка.
. Підготовка та налаштування вимірювальної головки.
. Установка вимірювальної головки у вакуумну камеру.
. Відкачування робочої камери.
. Підготовка системи термостатування зразка.
Нижче наводиться більш докладний опис перерахованих вище процедур.
.2 Установка зразка
Для встановлення зразка в вакуумну камеру виконайте наступні дії: 1. Приклейте зразок на предметний столик пр...
