Анотація
. Представлені теоретичні основи роботи п'єзорезистивного датчика тиску. p align="justify">. У діапазоні тисків від 0,02 до 1 атм. виконана таріровка та визначено Таріровочние коефіцієнти для датчика KPY 44A (№ 113, SIEMENS). Отримано лінійна тарувальна залежність, що відповідає заявленим характеристикам виробника. p align="justify">. Результати роботи (тарувальна залежність) будуть використані надалі для постановки і проведення експериментів у надзвуковий аеродинамічній трубі Т-325. br/>
Введення
Вимірники тиску широко поширені в нашому житті. Вони використовуються як на виробництві, в наукових дослідженнях, так і в побуті. Останнім часом все більше застосування знаходять п'єзорезистивного датчики тиску. Це пов'язано з тим, що п'єзорезистивного датчики володіють хорошими вимірювальними та експлуатаційними властивостями: висока чутливість і реакція, надійність і компактність. p align="justify"> При надзвукових швидкостях набігаючого потоку пред'являються високі вимоги до реакції, надійності, компактності і чутливості датчиків тиску. Таким вимогам відповідають п'єзорезистивного датчики тиску SIEMENS. p align="justify"> Тому метою роботи було: оволодіти методом вимірювання тиску за допомогою п'єзорезистивного датчика Siemens KPY 44A № 113, визначити його калибровочную залежність і вивчити вплив електромагнітної завади на свідчення даного датчика.
1. Використовуване обладнання
.1 Пьезорезестівний датчик KPY 44 A № 113
Для вимірювання тиску в роботі використовувався датчик абсолютного тиску KPY 44A з діапазоном вимірювань 0.1 Вё 4 атм. Зовнішній вигляд і геометричні розміри наведено на рис. 1.
В
Рис. 1. Датчик тиску KPY 44A
а - загальний вигляд, б - схема підключення; в, г - геометричні розміри
Датчики тиску - це перетворювачі, які звертають фізичну величину тиск в електричний сигнал. У їх центрі є вимірювальна осередок, що складається з системи чіпа і тонко протравленою кремнієвої діафрагми, в якій опір визначається впровадженими іонами кремнію.
При подачі тиску, відхилення діафрагми веде до змін в опорах згідно п'єзорезистивного ефекту. Товщина діафрагми, її площа поверхні і геометрична розміри резисторів визначають діапазон допустимого тиску датчика. Зміна в провідності, залежать від механічних напружень в межах кристала. Переваги датчика тиску, що використовує напівпровідникову технологію порівняно з тензометрами опору наступні:
велика чутливість
висока лінійність
дуже низьке вимірюється тиск ...
