Фазові діаграми як засіб опису взаємодії різних матеріалів. Основні фазові діаграми за участю кремнію
Зміст
Введення
1. Типи фазових діаграм
2. Системи, що мають важливе значення в мікроелектроніці
3. Тверда розчинність
4. Фазові переходи
Висновки
Література
Введення
Фазові діаграми станів є невід'ємною частиною будь-якого обговорення властивостей матеріалів у тих випадках, коли мова йде про взаємодію різних матеріалів. Особливо фазові діаграми стану важливі в мікроелектроніці, тому що для виготовлення висновків і пасивуючих верств там доводиться використовувати великий набір різних матеріалів. У виробництві інтегральних мікросхем в тісному контакті з різними металами знаходиться кремній, особливу увагу приділимо тим фазовим діаграмах, в яких в якості однієї з компонент фігурує саме кремній. p> У даному рефераті розглянуто які бувають типи фазових діаграм, поняття фазового переходу, твердої розчинності, найважливіші системи речовин для мікроелектроніки.
В
1. Типи фазових діаграм
однофазовий діаграми станів - це графіки, на яких залежно від тиску, обсяг і температури зображують фазовий стан тільки одного матеріалу. Зазвичай не прийнято малювати тривимірний графік на двовимірної площині - зображують його проекцію на площину температура - тиск. Приклад однофазної діаграми станів даний на рис. 1. br/>В
Рис. 1. Однофазна діаграма станів
На діаграмі чітко розмежовані області, в яких матеріал може існувати тільки в одному фазовому стані - як тверде тіло, рідина або газ. Уздовж розмежованих ліній речовина може мати два фазових стану (дві фази), знаходяться в контексті один з одним. Має місце будь-яка з комбінацій: тверде тіло - рідина, тверде тіло - пар, рідина - пара. У точці перетину ліній діаграми, так званої потрійний точці, можуть одночасно існувати всі три фази. Причому це можливо при одній-єдиній температурі, тому потрійна точка служить хорошою точкою відліку температур. Зазвичай в якості точки відліку виступає потрійна точка води (наприклад, у прецизійних вимірах з використанням термопар, де опорний спай контактує з системою лід - вода - пар).
Подвійна фазова діаграма (діаграма стану подвійної системи) являє стан системи з двома компонентами. На таких діаграмах по осі ординат відкладається температура, по осі абсцис - процентне співвідношення компонент суміші (зазвичай це або відсоток від загальної маси (вес.%), або відсоток від загального числа атомів (Ат.%)). Тиск зазвичай покладається рівним 1 атм. Якщо розглядається рідка і тверда фази, виміром обсягу нехтують. На рис. 2. представлена типова двофазна діаграма станів для компонент A і B з використанням вагового або атомного відсотка.
В
Рис. 2. Двофазна діаграма станів
Буквою пЃЎ позначена фаза речовини A з розчиненим речовиною B, пЃў означає фазу р...
