ХАРАКТЕРИСТИКА ЗАСОБІВ контролю поверхонь и Поверхнево кулі
Вступ
гарантованого одержании виробів з принципова новим рівнем функціональніх та ін. властівостей, Досягнення точності 0,1 мкм - 1 нм может буті ОТРИМАНО Тільки за умови КОМПЛЕКСНОЇ розробки вісокопрецізійніх робочих процесів, вімірювальніх систем, верстатів та ін. устаткування. Розміри деталей або їх ЕЛЕМЕНТІВ могут складаті широкий ДІАПАЗОН аж до декількох мкм, а точність верстатів винна буті в межах 0,01 мкм. br/>
1. Технологічне оснащення
Робочі Процеси, пов'язані з механічною обробка, базуються на Надзвичайно вісокій точності характеристик переміщень верстатов и геометрії інструмента. Субмікрометрічна чг нанометрічна точність переміщень верстатов и геометрії інструмента є тут обов'язковими умів. Металорізальні верстати, усьо технологічне устаткування і вимірювальна апаратура включаються в єдину систему Керування замкнутим циклом, что в сукупності Забезпечує Досягнення необхідної точності, Швидкості та Керування циклом позіціювання в Системі інструмент-заготовка. br/>
2. Засоби контролю поверхонь и Поверхнево кулі
фотоелектронна спектроскопія скануюча Поверхня
У традіційніх технологіях більшою мірою Використовують вимірювальні інструменти, прилади та Пристрої, что дозволяють контролюваті макро-і мікрогеометрічні характеристики поверхні. Завдання Формування функціональніх властівостей вироб породила необхідність Розширення арсеналу ЗАСОБІВ вімірювання та контролю, и прізвела до Використання фізічніх методів ДОСЛІДЖЕНЬ: спектральний, Рентгенівський и мікрорентгенівській аналізи, растровий та просвічуюча електронна мікроскопія, методи визначення Залишкова мікро-і макронапруг, растровий та скануюча тунельна мікроскопія, атомна мікроскопія.
На качану 80-х Німецький фізик Герд Бінніг ТА ЙОГО Швейцарський колега Генріх Рорер відкрілі растрово-Тунельна мікроскоп и здобули за нього в 1986 году Нобелівську Премію в области фізики. За помощью цього приладнав можна спостерігаті за поверхнею з точністю до атома. А поза цею прилад є так само Розповсюдження, стандартні устаткування, як и его В«молодший братВ» - силовий мікроскоп. Досягнутості возможности Вивчення новіх Поверхнево структур, атомних и молекулярних структур поверхні после різніх способів формоутворення й ОБРОБКИ. p align="justify"> Таким чином, Сьогодні в розпорядженні технологів, науковців может буті й достатньо ЗАСОБІВ для всебічної ОЦІНКИ характеристик виробів на трьох рівнях:
макроскопічному, коли Глибина Поверхнево кулі, что перевіряється, складає 100-1000 мкм;
мікроскопічному, колі Глибина Поверхнево кулі, что перевіря...
