доохолоджувані камери, однак втрачається чистота плазми. Для підвищення рівня потужності проміжок електрод - плазма заповнюють середовищем з високою діелектричної проникністю з метою збільшення ємнісного зв'язку розряду плазми з електродами. В якості такого середовища використовують сегнетоелектричної вставку. [5]
2.2.2 Лінійно-тороідальні вче-плазмотрони
вче-плазмотрон лінійної схеми може бути зроблений у вигляді тора з двома або чотирма електродами. Такий тип плазмотронів названий лінійно-тороїдним. За характеристиками і принципом роботи вони подібні з плазмотронами лінійної схеми. [1]
2.2.3 вче-плазмотрон з плоскою геометрією електродів
Найбільш простий і відомою формою вче-розряду є розряд між двома плоскими електродами. Такі плазмотрони можуть мати циліндричну або прямокутну розрядну камеру. Основне призначення таких плазмотронів - реалізація процесів травлення та очищення різного роду матеріалів, осадження та отримання покриттів на металеві та неметаличні матеріали. Також велика область застосування таких плазмотронів - для накачування газових лазерів. [5]
У плазмотроне з плоскою геометрією електродів розрядний проміжок d, через який продувається газ, утворений електродами 1, ізольованими від розряду діелектричними покриттями 2. Як правило, плоскі електроди виготовляються з міді, латуні або нержавіючої сталі і розташовуються на зовнішній поверхні розрядної камери. Практично завжди електроди примусово охолоджуються за допомогою обдування їх холодним газом або за допомогою спеціальних трубочок, приварених до електродів, через які подається охолоджуюча вода. Крім того самі електроди можуть бути порожніми і через них може прокачуватися охолоджувач. p align="justify"> Головна увага в плазмотронах такого типу приділяється однорідності розряду і можливості прокачування великих витрат газу. На даний момент ефективність роботи вче-плазмотронів з плоскою геометрією електродів в області великих витрат газу різко падає і їх застосування стає неможливим. [1]
2.2.4 вче-плазмотрони з коаксіальною геометрією електродів
Істотне просування в область високих значень витрат газу можливе с і спользование вче-плазмотронів, які мають коаксіальну геометрію електродів. Вче-плазмотрон коаксіальної схеми складається з двох коаксіальних один одному діелектричних труб - зовнішньої і внутрішньої. Навколо зовнішньої труби розташовується циліндричний електрод. Він може бути закріплений безпосередньо на трубі або знаходитися на деякій відстані від неї. Другий електрод, теж циліндричний, розташовується у внутрішній трубі. Таким чином, обидва електроди теж коаксіальним один одному і ізольовані від розряду електричними стінками труб, що утворюють розрядний проміжок і складають так звану розрядну камеру плазмотрона. Основний матеріал для розр...
