- 200 с. p> 6.Готра З.Ю., Лопатинський І.Є., Лукіянець Б.А. ФІЗИЧНІ основи Електронної техніки. - Львів: Бескид Біт, 2004. - 880 с. p> 7.Березін Г.Н., Микитин О.В., Суріс Р.А. Оптичні основи контактної фотолітографії. - М.: Радіо і зв'язок, 1982. - 104с. p> 8.Проблеми літографії в мікроелектроніці. - М.: Наука, 1987. -150с. p> 9.Готра З.Ю. ФІЗИЧНІ основи Електронної техніки. - Львів: Видавництво "Львівська політехніка", 2002. - 636с. p> 10. Волков В. А. Збірка і герметизація мікроелектронних пристроїв. - М.: Радіо і зв'язок, 1982. p> 11. Електронно-променева технологія у виготовленні мікроелектронних приладів/Під. ред. Брюера Дж. Р. Пер. з англ. - М.: Радіо і зв'язок, 1984. br/>
