випускає атоми або молекули, які поширюючись за законами геометричної оптики, потрапляють на підкладку, де і відбувається конденсація. Високу локальну температуру дозволяє отримати електронно-променевої нагрів испаряемого речовини. Фокусуючи електронний промінь, нагрівають мала ділянка на порівняно масивному зливку испаряемого речовини, іноді доводячи його до плавлення. Випарник і підкладку поміщають в камеру з холодними стінками, в якої забезпечують високий вакуум. Якщо на шляху частинок помістити екран в отворами («маску»), то він вирізає окремі пучки частинок. Таким способом можна локалізувати кристалізацію на вибраних ділянках.
Для підвищення досконалості плівок метод молекулярних пучків комбінують з хімічними методами осадження.
Метод катодного розпилення - гнучкий, легко керований процес. Одержав широке поширення для осадження плівок, як полікристалічних, так і монокристалічних. При використанні варіанту катодного розпилення з використанням тліючого розряду між катодом і паралельним йому заземленим плоским анодом на якому розташовуються підкладки, запалюють розряд. Стационарность розряду підтримується завдяки динамічному рівновазі між числом іонів, нейтралізуються на катоді, і числом нових іонів, що генеруються в плазмі тліючого розряду електронами, еммітіруемимі з катода. Вдаряються про катод іони вибивають з нього атоми шляхом передачі імпульсу. Ці атоми електрично нейтральні і досягають анода, практично не соударяясь з молекулами газу. При осадженні на монокристаллическую підкладку може бути забезпечений епітаксіальний зростання. Розроблено різні варіанти методу катодного розпилення.
До методів за участю хімічної реакції відносяться методи хімічного транспорту, методи розкладання з'єднань і методи синтезу в паровій фазі.
У методах хімічного транспорту кристаллизуемой речовина в твердому або рідкому вигляді взаємодіє в зоні джерела з іншою речовиною і перетворюється на газоподібні сполуки, які переносяться в зону з іншої температурою і, розкладаючись по зворотної реакції, виділяють вихідна речовина. У методах розкладання сполук в зону кристалізації вводиться летюча з'єднання, яке під дією газоподібного відновника і високої температури або будь-якого іншого впливу розкладається з виділенням кристаллизуемой речовини. У методі синтезу в паровій фазі кристаллизуемой з'єднання утворюється в результаті реакції між газоподібними компонентами безпосередньо в зоні кристалізації.
Список літератури
1. Ольгин О., «Досліди без вибухів», М.; «Хімія», 1995 г .;
2. Здорік Т.Б., «Камінь, що породжує метал», М.; «Просвещение», 1984 г .;
3.http :/ / ru. wikipedia.org / wiki /% D0% 9A% D1% 80% D0% B8% D1% 81% D1% 82% D0% B0% D0% BB% D0% BB% D1% 8B
. Зоркий П.М. Симетрія молекул і кристалічних структур. М.: изд-во МГУ, 1986. - 232 с.
