700 В. При цьому загорявся розряд, локалізований у поверхні мішені магнітним полем. Матеріал мішені за рахунок інтенсивної іонного бомбардування протягом 5-10 хв переходив у рідкий стан. Спочатку розплавляють зона горіння розряду, потім центральна частина мішені і, нарешті, крайова її область. З появою рідкої фази світіння розряду ставало більш інтенсивним, струм розряду зростав (рис. 6, крива 2), а напруга на джерело живлення розрядному проміжку за рахунок обмеженої потужності джерела живлення знижувалося (рис. 6, крива 1). Характерно, що якщо у звичайній МСІР, коли розпорошується мішень знаходиться в твердій фазі, розряд гасне при Р <10-1 На, то при розпиленні з рідкої фази розряд стійко горів при Р? 1 * 10-2 Па, що може бути пояснено як явищем самораспиленія мішені під впливом на неї інтенсивного потоку іонів розпорошеного металу, так і високою пружністю пара розпорошується матеріалу (яка, наприклад, для міді при температурі 1430 В° С становить 13 Па). Це говорить про те, що, коли тиск пари розпорошується металу (зросте настільки, що процес іонізації парів стане досить інтенсивним, щоб підтримувати горіння розряду, можна припинити напуск аргону, що істотно знизить забруднення плівки активними газами, що містяться в аргоні. p align="justify"> За словами автора, при потужності джерела живлення 1,5 кВт, щільності потужності на мішені 40 Вт/мм2, щільності іонного струму 70 мА/см2 і відстані від мішені до підкладки 5 см швидкість осадження міді становила від 4 до 5 мкм/хв, що в 100 - 120 разів перевищує швидкості, характерні для діодним системи розпилення на постійному струмі. Слід також зазначити, що подача на підкладку негативного зсуву 100 В викликає іонний струм до підкладки, величина якого становить 25% розрядного струму. Це дозволяє поліпшити адгезію та інші властивості плівок. <В
Рисунок 6 - Зміна напруги (1) і струму (2) розряду в часі.
Метод осадження плівок шляхом розпилення з рідкої фази може знайти реалізацію при виготовленні друкованих плат, мікрополоскових ліній ІС та інших виробів, де потрібні високі швидкості осадження та значні товщини плівок [13].
2. Проектування магнетрона з теплоизолированной мішенню
.1 Вибір оптимальних параметрів магнетрона з теплоизолированной
мішенню (геометричні розміри, вибір матеріалу)
У конструкції магнетрона з теплоизолированной мішенню присутні наступні елементи: фланець, корпус, тигель, а також кілька магнітів. p align="justify"> Існують два класи матеріалів: магнітні та немагнітні. Магнітні матеріали відіграють величезну роль у формуванні магнітного поля. Ці матеріали допомагаю концентрувати магнітне поле там, де потрібно. Немагнітні матеріали - це функціональні вузли, які не роблять істотного впливу на розподіл магнітного поля. p align="justify"> У підручнику Магнетронниє розпилювальні си...
