Епітаксійні кульк осаджують на підкладках з орієнтацією (111) та (100).
Вивчення структурованих кремнієвіх шарів свідчіть про їх НИЗЬКИХ Досконалість. Крім чисельного мікродефектів в самому осаді, под плівкою Було знайдено кавітаційній куля, Який містіть Великі порожніні. Его товщина зростанні Зі збільшенням трівалості процеса. Цею куля вінікає внаслідок діфузії германію в епітаксійну плівку кремнію. После 64-Годін осадженим германієву підкладку товщина 1 мм розрізніті Вже НЕ вдається. За помощью рентгенівського мікроаналізу Було досліджено Розподілення германію по товщіні кулі кремнію, что зростанні (рис. 13). Бачимо, что Градієнт концентрації германію збільшується Зі зниженя температура росту. Плівкі монокрісталічні по всій товщіні, причому вімірювання періодів решітки твердих розчінів, что утворюються, узгоджуються з результатами мікроаналізу [ 9, 10 ] .
При вісокій температурі германієвої підкладкі за прісутності парів йоду поряд з осадженим кремнію відбувається травлення германію.
орієнтований ріст кремнію на підкладках Із германію з орієнтацією (111) спостерігається до 650 про С. При більш низьких температурах ШВИДКІСТЬ зростанню однозначно зніжується (рис. 13) причому кремній осаджується в основному на стінках ампули при температурі близьким 800 про С. Орієнтований ріст на підкладках з орієнтацією (100) проходити позбав при t n > 800 про С.
Для Дослідження механізму потрапляння германію в кремнієві шари БУВ вивченості Вплив Подальшого довготрівалого відпалювання шарів (600 рік. при 918 про С) на характер Розподілення германію в плівці. Виявило, что відпал НЕ супроводжується помітною діфузією. Германій переноситися в кулю НЕ діфузійнім шляхом, а через пори в підшарі внаслідок Реакції з йодом в газовій фазі [ 9, 10, 11 ] .
В
Рис. 3.3. Залежність концентрації германію від Товщина епітаксійної кремнієвої плівкі [ 9 ]
У Останні кілька десятіліть значний увага пріділяється дослідженню властівостей та методів вирощування епітаксійніх шарів Ge 1-x -Si x [9, 11]. Надзвичайний Інтерес до таких структур обумовлення ...
