ELCAT величину магнітної індукції можна побачити в графічному поданні (рис.12).
В
Рисунок 12 - Графік величини горизонтальної складової індукції магнітного поля для магнетрона з жідкометалліческім мішенню.
З даного графіка видно, що величина магнітної індукції становить 73 мТл. Було розроблено кілька конструкцій магнетрона з жідкометалліческім мішенню для порівняння величини горизонтальної складової магнітного поля, але конструкція магнетрона з полюсним наконечником найбільш оптимальна, оскільки в ній значення індукції магнітного поля має максимальне значення із всіх інших конструкцій. p align="justify"> Також представлено моделювання конструкції магнетрона з жідкометалліческім мішенню з додатковою магнітною системою. Результати моделювання представлені на малюнку 13. br/>В
Малюнок 13 - Розподіл магнітного поля магнетрона з жідкометалліческім мішенню з додатковою магнітною системою в пакеті програм ELCAT.
Для прикладу можна навести інші конструкції магнетрона з жідкометалліческім мішенню, які представлені на малюнку 14. p align="justify"> Силові лінії магнітного поля конструкцій магнетронів в жідкометалліческім мішенню з конусним наконечником і без нього зображені на малюнку 15. З даного малюнка видно, що силові лінії магнітного поля розподілені по-різному. br/>В
Малюнок 14 - Геометрична модель магнетрона з жідкометалліческім мішенню в пакеті програм ELCATа) без полюсногонаконечніка, б) з полюсним наконечником.
З конструкції з полюсним наконечником плазма буде горіти безпосередньо над поверхнею мішені, що перешкоджає прогресивному розпорошення корпусу МРС.
В
Малюнок 15 - Геометрична модель магнетрона з жідкометалліческім мішеньюв пакеті программELCAT з силовими лініями магнітного поля а) без полюсного наконечника, б) з полюсним наконечником.
Величина індукції магнітного поля для порівняльної конструкції зображена на малюнку 16.
В
Малюнок 16 - Величина індукції магнітного поля на поверхні магнетрона з жідкометалліческім мішенню а) без полюсного наконечника, б) з полюсним наконечником.
З даних графіків видно, що величина індукції магнітного поля МРС без полюсного наконечника порівняно менше, ніж у конструкції магнетрона з жідкометалліческім мішенню з наконечником і становить 58 і 87 мТл відповідно.
.3 Конструювання жидкофазного магнетрона за допомогою
інструментів для автоматизованого проектування AutoCAD
(англ. Computer-Aided Design) - 2 - і 3-мірна система автоматизованого проектування і креслення, розроблена компанією Autodesk і на початкових етапах існування цієї фірми - основа її бізнесу. AutoCAD є найбільш поширеною САПР в світі завдяки коштам креслення [16] .2004 дає проектувал...
