дне значення. Відомі їх застосування при контролі і вимірюванні товщини шарів в інтегральних схемах, в многоволновой еліпсометрії, в системах аналізу газових сумішей методами лінійної лазерної оптико-акустичної спектроскопії, а також нелінійної спектроскопії з використанням комбінаційного розсіювання. Існує кілька способів перебудови частоти випромінювання газових лазерів, наприклад шляхом механічного повороту дисперсійного елемента, введення рухомий маски або перебудовується дзеркала.
Пошук нових способів швидкої перебудови частоти випромінювання СО 2-лазера додатково стимулюється появою спеціальних завадостійких алгоритмів газоаналізу, що забезпечують підвищення швидкості і точності розпізнавання газової суміші, якщо сканування по спектру проводити не послідовно від однієї лінії до сусідньої, а за спеціальним законом, адаптивно формованому комп'ютером в процесі газоаналізу і передбачає переходи між деякими характерними спектральними лініями в діапазоні перебудови. Таким вимогам задовольняє СО 2-лазер з внутрірезонаторними електронною перебудовою частоти.
При створенні лазера з немеханическим зміною частоти випромінювання в якості базової конструкції використовується випромінювач лазера. Перебудова здійснюється електронним способом всередині оптичного резонатора. На малюнку зображена схема оптичного резонатора лазера, а на малюнку - поперечний переріз його робочого газоразрядного зазору, в обсязі якого формуються канали генерації індукованого випромінювання.
- плоске дзеркало, 2 - сферичне дзеркало, 3 - ешелет,
- щілинний зазор, 5 - генеруючі канали.
Оптичний резонатор перебудованого лазера
Оптичний резонатор побудований за модифікаційної схемою Якобі і містить плоске дзеркало 1, а також сферичне дзеркало 2, у фокальній площині якого розташований нерухомо закріплений ешелет 3.
, 2 - ВЧ електроди, 3 - додаткові електроди,
- діелектрик, 5,6 - клеми, 7 - плазмовий об'єм,
- поздовжній канал по довжині електрода i.
Поперечний перетин робочого каналу перебудованого лазера
Робочий зазор лазера утворений широкими ВЧ електродами 1,2, n додаткових електродів 3 у вигляді вузьких поздовжніх металевих смуг, ізольованих від ВЧ електрода діелектриком 4. Перебудова частоти лазера заснована на керованому придушенні ВЧ розряду (напруга накачування підводиться до клем 5) електростатичним полем, який формується одним з додаткових смужкових електродів, наприклад електродом i, до якого за допомогою клеми 6 підводиться негативне, щодо ВЧ електродів, постійне електричну напругу. Гасящій потенціал вибирається достатнім для зменшення швидкості іонізації в області, навколишнього смуга електрод i, нижче критичної. Завдяки цьому в широкому плазмовому обсязі 7 по довжині Полоскова електрода «випалюється» вузький поздовжній канал 8. При підведенні гасящего напруги до всіх додаткових електродів, крім електрода i, ВЧ розряд (активне середовище) існує тільки в обсязі вузького каналу 8.
Подібний режим є робочим для перебудовуваною однохвильові генерації з будь-яким (регулярним або нерегулярним) порядком чергування спектральних лінії. Конкретної хвилі відповідає кут падіння випромінювання на ешелет, що однозначно визначає положення Полосков...
