мящего польового транзистора з затвором Шоттки
.1 Визначення товщини збідненого області
.2 Визначення значення порогового напруги перекриття каналу
.3 Визначення геометричних розмірів польового транзистора Шотки
. Функціональне проектування підсилювача
.1 Отримання схеми електричної принципової
.2 Дослідження впливу ширини затвора на коефіцієнт шуму та інші характеристики ПТШ
. Розробка конструкції і топології кристала
.1 Розрахунок геометричних розмірів пасивних елементів
.2 Розробка топології кристала
. Розробка технології виготовлення кристала
. Малюнки відображають технологію виготовлення кристала
Висновок
Список використаної літератури
Додатки
Введення
транзистор польовий малошумящий
Проектування напівпровідникових інтегральних схем (ІС) є складним і багатоетапним процесом. Комплекс робіт з проектування включає синтез і аналіз схеми, оцінку економічної обгрунтованості ступеня інтеграції, розрахунок елементів, розробку топології, вибір оптимального технологічного процесу, розрахунок техніко-економічних показників виробництва.
Процес проектування напівпровідникових ІС можна поділити на такі основні етапи: 1) складання технічних вимог; 2) вибір фізичної структури; 3) розробка принципової електричної схеми; 4) розробка конструкції і топології; 5) оформлення документації.
На першому етапі аналізують технічне завдання і складають технічні вимоги - до електричних параметрах, надійності та ін
Другий етап передбачає вибір структури та електрофізичних параметрів підкладки, формулювання вимог до електрофізичних параметрах шарів, визначення геометричних і електричних параметрів активних елементів. Товщини і електрофізичні параметри шарів визначаються, виходячи з вимог, що пред'являються до основних структурам (транзисторам або ін активним елементам), - з урахуванням можливостей типового технологічного процесу, на базі якого повинна бути виготовлена ??ІВ. Для проектування інших (пасивних) елементів використовуються шари, визначені для основних структур.
Основний етап проектування ІС - розробка топології - проводиться в такій послідовності: отримання і узгодження вихідних даних; розрахунок геометричних розмірів елементів; розробка ескізу топології; розробка попереднього варіанту топології; оцінка якості та оптимізація топології. Вихідними даними є принципова електрична схема, а також технологічні і конструктивні вимоги та обмеження. За принципової електричної схемою визначається перелік активних і пасивних елементів, формулюються вимоги до окремих елементів. До конструктивних вихідними даними відносяться порядок розташування на кристалі контактних майданчиків і передбачувана конструкція корпусу. При розробці топології необхідно враховувати точність технологічних операцій, що визначають геометричні розміри елементів (виготовлення фотошаблонів, суміщення фотошаблонів з малюнком на підкладці, травлення вікон в діелектричній плівці і т. п.).
Закінчується процес проектування виготовленням дослідної партії ІС та їх дослідженням (перевірка електричних параметрів, оцінка надійності, проведення механічних та кліматичних випробувань і т. д.). Якщо в результаті досліджень з'ясовує...