e високої чистоти характеризується вмістом неконтрольованих домішок <10 -10 .
Про вимоги до точності роботи устаткування можна отримати уявлення на прикладі оптико-механічних установок. Для створення на поверхні пластини діаметром 30-80 мм сотень тис. елементів різної форми і розмірів застосовують шаблони, за допомогою яких послідовно проводять кілька дифузійних процесів, наносять металеві плівки і т.д. При виготовленні фотошаблонів та суміщення посад чергового шаблону з малюнком, раніше нанесеним на ПП пластину, точність роботи оптико-механічного устаткування повинна складати десяті долі мкм. Тому оптична частина устаткування, розробленого спеціально для потреб П. е.., характеризується надвисокою роздільною здатністю, що досягає більше 1000 ліній на мм (у вживаних фотоматеріалів вона ще вища - 1500 ліній на мм ) , і не має аналогів в ін областях техніки. Зменшення розмірів елементу до 1 мкм і перехід до субмікронних розмірах створюють значні труднощі, обумовлені головним чином явищем дифракції. Їх подолання - в переході від світлових променів до електронних, які можуть бути сфокусовані до десятих і сотих часток мкм. У цьому випадку мінімальний розмір елемента буде визначатися діаметром електронного променя. Механічна обробка ПП пластин повинна здійснюватися по 14-му класу чистоти обробки поверхні, з відхиленнями від площини (площинністю), що не перевищують 1 мкм. Особливі вимоги висуваються також і по відношенню до термічного обладнанню: точність установки та підтримання температури на рівні 1000-1300 В° С повинна бути не гірше В± 0,5 В° С.
Дуже жорсткі вимоги пред'являються до умов виробництва виробів П. е.. Газова середу, в якій проходять деякі, найбільш важливі технологічні процеси, повинна підлягати ретельній осушування та обезпилюванню. Вміст у ній вологи вимірюється долями відсотка і оцінюється по температурі газу, при якій настає конденсація вологи (по точці роси). Якщо в цехової атмосфері підтримується т.з.. комфортна вологість (відповідна відносній вологості 50-60%), то в спеціальні бокси (скафандри), в яких здійснюється, наприклад, складання виробів, подається повітря, азот або аргон, осушене до точки роси, рівної - (50-70) В° С . Один з найбільш серйозних ворогів ПП виробництва - пил. Одна порошинка розміром в декілька мкм, потрапила на поверхню пластини в ході процесів фотолітографії ,
