икають при виготовленні МФЧ, на його аналітичні характеристики були проведені вимірювання профілів каналів мікрофлюідних чіпів для електрофоретичного розділення проби, отриманих методом лазерної абляції поверхні полімеру, а також методом фотолітографії і кислотного травлення скляної підкладки.
На рис. 17 представлені зображення перерізу каналів скляно-кремнієвого МФЧ, отримані за допомогою мікроскопа Carl Zeiss Axio Observer D1. br/>В
Рис. 17. Зображення перерізу каналів скляно-кремнієвого МФЧ
(Мікроскоп Carl Zeiss Axio Observer D1), отриманого методом фотолітографії і травлення.
Зображення свідчать про симетричність профілю перерізу каналів. Припустивши, що довжина дозується ділянки становить 200 мкм, що є цілком обгрунтованим, якщо використовуються варіанти електрокінетичного дозування (електроосмотіческій потоки), то грунтуючись на отриманих розмірах каналів, можна провести розрахунок похибки дозируемой проби. Для даного чіпа обсяг дозируемой проби становить (178,8 В± 7,6)? 10 -6 мм 3 , тобто максимальна похибка дозування - близько 8%. Т.к. на похибка дозування, пов'язаної з площею перетину, впливає відхилення глибини і ширини каналу, то також необхідно оцінити ці величини. Отримане значення глибини каналу становить (28 В± 1)? 10 -3 мм. Розміри нижнього і верхнього підстав трапеції - (11,1 В± 1,3)? 10 -3 мм і (51,9 В± 0,8)? 10 -3 мм відповідно. На підставі цих результатів можна зробити висновок, що виготовлення скляно-кремнієвого МФЧ методом фотолітографії і травлення дає добре відтворювані значення розмірів каналів з прийнятною точністю для виконання аналітичних дій з пробою.
На рис. 18 представлені зображення перерізу каналів полімерного (ПММА) МФЧ, отримані за допомогою мікроскопа Carl Zeiss Axio Observer D1. Були визначені розміри каналів полімерного МФЧ, сформовані методом лазерної абляції: глибина каналу (272,1 В± 9,8)? 10 -3 мм, ширина - (233,5 В± 2,6)? 10 -3 мм. Якщо припустити, що довжина дозується ділянки також становить 200 мкм, то можна обчислити обсяг введеної проби: (6,4 В± 0,2)? 10 -9 мм 3 , тобто максимальна похибка дозування - близько 8%.
Таким чином, застосування методу лазерної абляції для формування структур призводить до аналогічної похибки дозування. У даному випадку глибина каналів відтворюється з...
