мембрану при різних умовах її формування і різних типах середовища оточення. Крім цього, відкриваються можливості формування тонкоплівкових моно-, бі-і багатошарових наноструктур для біосенсорів, залучаючи для цього можливості ЛБ-технологій.
Метою даної роботи є відпрацювання технології створення матричної платформи на основі наскрізних нанопоруватих структур з оксиду алюмінію, які передбачається використовувати при вивченні функцій різних біологічних мембран і при створенні різного типу біосенсорів.
Матеріали і методи дослідження
При створенні матричних платформ з ПАОА було використано технічне оснащення і виробнича база мікроелектроніки. Плівки ПАОА товщиною від 500 нм були сформовані на алюмінієвій фользі (99.99%). Перед анодуванням алюмінієва фольга прокочувалася і електрохімічно полірувалася в суміші етилового спирту і хлорної кислоти до дзеркальної поверхні. Анодування проводили в спеціальній комірці в гальваностатичного і потенціостатичному режимах в розчинах щавлевої кислоти при температурі 7 ... 10 В° С у дві стадії. Травлення оксиду, після першого анодування, проводили при температурі 60 В° С в розчині, що містить: 160 р. хромового ангідриду, 270 мл ортофосфорної кислоти і 1000 мл води. Створення матричних платформ з ПАОА було виконано на основі комбінації двох технологій. Перша заснована на локальному окисленні і наступному травленні непрореагировавшего алюмінію, друга - на анизотропном травленні пористого оксиду алюмінію. При проведенні процесів фотолітографії на ПАОА для виключення попадання фоторезиста в глибину пір, що впливає на отримання рівного краю при прояві і подальше видалення фоторезиста, використовували молибденовую захисну маску, яку наносили методом вакуумного напилення. Плівки ПАОА відокремлювали від алюмінієвої фольги в розчинах на основі соляної кислоти з додаванням хлористої міді. Для отримання наскрізних мембран АОА розчинення бар'єрного шару проводилося ступінчастим зниженням напруги анодування на 5-10% в електроліті анодування з зачисткою поверхні вакуумними методами з використанням аргону. Дослідження структури плівок ПАОА проводили на атомному силовому мікроскопі фірми Digital Instruments NanoScope. Дослідження електрофізичних властивостей створених матричних платформ здійснювали за допомогою приладу Е7-12 з удосконаленим вхідним модулем, в якому для вимірювання наскрізний провідності використовували рідинні електроди на основі 0,15 М розчину КСl.
Обговорення результатів
Використовуючи 0,3 М розчин щавлевої кислоти, двохстадійний потенціостатичні режим анодування при температурі 7 ... 10 В° С були отримані експериментальні зразки матричних платформ з упорядкованою структурою наскрізний пористості, загальний вигляд яких наведено на малюнку 1а, а АСМ - Зображення поперечного перерізу пористої структури Аl 2 O 3 в області наскрізний пористості - на малюнку 1б.
Фронтальна поверхня і поверхню з боку стравленнимі бар'є...
