тків мікрометрів. [4]
. Властивості пиловий плазми
Негативні властивості пиловий плазми
В останні роки у зв'язку з бурхливим розвитком мікроелектроніки і переходом виробництва на нанотехнологію дослідження в області пиловий низькотемпературної плазми викликають широкий інтерес і мають велике практичне значення. Вже давно відомо, що в більшості промислових установок, що використовуються в напівпровідниковому виробництві, в якості побічного продукту відбувається народження і зростання часток мікронних і субмікронних розмірів. Пилові освіти були знайдені в установках по плазмовому травленню, хімічного осадження з газової фази, а також в установках з осадження методом розпилення. Оскільки зазвичай макрочастки в плазмі набувають значні негативні заряди, то вони виявляються замкнутими електростатичним полем, і можуть рости протягом тривалого часу, поки розряд не буде вимкнено, або вони не будуть виведені з області горіння розряду під дією власної сили тяжіння. Вже зараз сучасний рівень розвитку напівпровідникової технології дозволяє оперувати з об'єктами, що мають розміри 0.1 мкм, однак, подальше ускладнення і мініатюризація електронних пристроїв вимагає розміщення все більшого числа логічних елементів на кристалі, що неможливо здійснити без освоєння області розмірів в десятки нанометрів. Поява пилу під час технологічного циклу в цьому зв'язку являє собою серйозну проблему, оскільки макрочастки, потрапляючи на підкладку, можуть призвести до появи фатального дефекту, різко знижуючи. p align="justify"> Позитивні властивості пиловий плазми.
Однак, поряд з процесами, в яких наявність наночастинок призводить до небажаних ефектів, існує широка область завдань, пов'язана із створенням матеріалів, що володіють спеціальними властивостями. Дослідження і використання процесів народження і зростання часток у плазмі в цьому зв'язку має важливе значення, так як їх властивості такі, як монодисперсні розмірів, заданий хімічний склад, виявляються затребуваними в технології, і отримання контролю над цими властивостями являє собою самостійну і перспективну задачу. Вже зараз наночастинки, синтезовані в плазмі, застосовуються у виробництві керамік, а в установках з магнетронним розпиленням отримують порошки чистих металів, сплавів і композитних матеріалів. Оскільки використання пиловий плазми розглядається, як один з ефективних способів синтезу наночастинок з унікальними фізичними властивостями, то розуміння механізмів взаємодії макро частин виявляється визначальною умовою для створення необхідної технічної бази. [5]
3. Зарядка в газорозрядної плазмі
пиловий плазма кристал газорозрядний
У нерівноважній плазмі газових розрядів низького тиску іони, атоми і макроскопічні частинки незважаючи на високу енергію електронів, як правило,...
