о імпульсу з силою струму 50 мА, напругою 9 В і тривалістю 50 мс. Коли балка, розташована в середній частині пластини 1, нагрівається, відбувається її подовження, оскільки температурний коефіцієнт розширення кремнію позитивний. А так як кінці її закріплені, вона прогинається, відхиляє інерційну масу і згинає балку, що містить пьезорезістори. Ця балка зміщується приблизно на 3 мкм в тому ж напрямку, що і маса при зіткненні автомобіля з перешкодою. br/>В
Рис. 3. Основний конструктивний блок елементарної комірки датчика прискорення
Мікросхема датчика не містить схеми обробки сигналу вимірювального моста. Варіанти датчика відрізняються тим, що NAC-203 містить вбудовані товстоплівкові схеми, що дозволяють зробити лазерну підстроювання чутливості і температурної корекції в процесі виробництва, а в NAC-201 реалізація цих функцій надається користувачеві. Вхідний і вихідний опору вимірювального моста моделі NAC-201 дорівнюють 2 кОм. Смуга пропускання по рівню 3 дБ становить 500 Гц. Резонансна частота приладів, змонтованих у повній відповідності до рекомендацій виробника, - не менше 10 кГц. br/>
В
Рис. 4. Структурна схема ІМС акселерометра ADXL50
Інтегральні датчики прискорення об'ємної конструкції мають ряд недоліків. По-перше, вони складні у виробництві, оскільки операції формування об'ємних структур не дуже просто поєднуються зі стандартними поверхневими інтегральними технологіями. По-друге, бажано мати датчик мінімально можливих розмірів на схемном кристалі також мінімально можливих розмірів. Зменшення розмірів кристала дає підвищення його механічної міцності і зниження вартості. У той же час в датчику об'ємної конструкції тільки на розміщення чутливого елемента потрібно від 6,5 до 16 мм2 площі кристала. br/>
