більше 1 години.
. При напиленні тонкої плівки із золота властивості поверхні матеріалу змінюються. При цьому суцільність покриття при магнетронном напилюванні також залежить від матеріалу підкладки. Серед досліджуваних матеріалів найбільш однорідне покриття було сформовано на ПК.
. При використанні методу фотолітографії і кислотного травлення в підкладці формується неоднорідна поверхня, нерівномірність якої визначається матеріалом підкладки (зокрема, її однорідністю). Крім того, при кислотному травленні скла поверхня стає гідрофобною.
. ПК - найбільш стійкий матеріал з точки зору обробки поверхні (після опромінення УФ практично не змінює свої властивості, а шар золота навіть в 6 нм наноситься рівномірно).
. ПММА - володіє дещо гіршими властивостями з точки зору фізичної обробки. Після впливу УФ-випромінюванням змінюється поверхнева структура. У разі необхідності створення струмопровідного шару потрібно напилення більш товстого шару для отримання суцільної поверхні.
. Вивчення впливу технологічних погрішностей показало, що виготовлення скляно-кремнієвого МФЧ методом фотолітографії і травлення дає добре відтворювані значення розмірів каналів з прийнятною точністю для виконання аналітичних дій з пробою. Застосування методу лазерної абляції для виготовлення полімерного МФЧ призводить до аналогічної похибки дозування проби. Максимальна похибка дозування склала в обох випадках близько 8%.
Подальшим розвитком даних досліджень є вивчення властивостей гідрофільності і гідрофобності після УФ впливу, вивчення зміни контактних кутів при впливі буферними розчинами (боратний, фосфатний та ін) після модифікації матеріалів, а також створення мікрочіпів з модифікованими каналами. br/>
Висновок
У роботі продемонстровано можливість вимірювань і контролю деяких основних характеристик мікрофлюідних чіпів, а саме:
- геометричних розмірів перетину каналів, вимірювання яких дозволяє оцінити похибку дозування проби;
- властивостей змочування поверхні, що дає можливість отримати інформацію про потоки рідини в каналі;
- неоднорідності поверхні, що також дозволяє отримати необхідні оцінки для прогнозування потоків у Мікроканали.
Важливим є контроль властивостей і характеристик елементів мікрочіпа на всіх стадіях виробництва і на фінішній стадії виготовлення. Перераховані вище характеристики визначають основні аналітичні характеристики чіпа, в тому числі:
- похибка введеної...
