ючи центром кристалізації. p align="justify"> Навколо окремих центрів кристалізації відбувається зростання кристалів, які згодом зростаються і утворюють суцільну плівку. Підвищення температури підкладки при інших незмінних умов збільшує енергію адсорбованих молекул, підвищується ймовірність десорбції одиночних молекул в потенційних "ямах". Таким чином, стійкими можуть бути тільки великі групові утворення молекул. При досить високій температурі підкладки (званої критичної) ймовірність реіспаренія стає рівною одиниці і конденсації не відбувається. Із збільшенням швидкості випаровування критична температура підкладки зростає, зростає ймовірність виникнення мелкокристаллической плівки, аж до аморфної. p align="justify"> Процес випаровування і якість нанесених плівок значною мірою визначаються типом і конструкцією випарників, які можуть мати резистивний або електронно-променевої нагрів.
метод термічне випаровування
Резистивна нагріванням називають нагрів електропровідного тіла, що володіє високим електричним опором при проходженні через нього електричного струму.
Переваги резистивного нагріву - високий ККД, низька вартість обладнання, безпека в роботі і малі габаритні розміри. Факторами, що обмежують застосування випарників з резистивним нагріванням є можливість забруднення наносимой плівки матеріалом нагрівача, а також
малий ресурс роботи через старіння (руйнування) нагрівача, що вимагає його періодичної заміни.
Випарники цього типу різних конструктивних варіантів можуть бути з безпосереднім або з непрямим нагрівом испаряемого речовини.
Матеріали, використовувані для виготовлення випарників, повинні відповідати наступним вимогам:
) випаровуваність матеріалу випарника при температурі испаряемого речовини повинна бути пренебрежимо малої;
) для хорошого теплового контакту матеріал випарника повинен добре змочуватися розплавленим випаровуються речовин;
) між матеріалом випарника і випаровується речовини не повинні відбуватися ніякі хімічні реакції, так як це призводить до забруднення наносяться плівок і руйнування випарників.
У випарниках з безпосереднім нагрівом струм в декілька десятків ампер проходить безпосередньо через випаровуваний матеріал. Такий метод випаровування може бути застосований тільки для сублімуються матеріалів, тобто металів, температура плавлення яких вище температури випаровування
Основна перевага цих випарників - відсутність теплового контакту між їх нагрітими елементами і випаровується металом, що забезпечує високу чистоту наносимой плівки. Однак вони забезпечують низьку швидкість випаровування, дають можливість випаровувати малу кількість матеріалу, який може бути використаний тільки у вигляді стрічки або ...
