tify">. 2.2 Методика контролю товщини отриманий зразків
Для контролю товщини плівок безпосередно в процессе напилення застосовувався метод кварцовий резонатора. Як датчики товщини вікорістовувалісь кварцові пластини РГ - 08, Які вмікалась в схему генератора. Частота вихідного сигналу вімірювалась приладнав ЧЗ - 54.
Товщінa сконденсовaної плiвкі візнaчaлaсь зa спiввiдношенням:
, (1.10)
де D q та D f - густінa квaрцу i Речовини, якa конденсується, вiдповiдно; fq - резонaнснa чaстотa квaрцу до почaтку конденсaцiї; f - резонaнснa чaстотa квaрцу пiсля конденсaцiї метaлу, N a=dq · fq=const=1,668 · 10 3 Гц · м.
Для контролю Загальної товщини багатошаровіх зразків вікорістовувався інтерферометрічній метод, Який базується на вікорістанні приладнати під Назв інтерферометр Лінніка [25].
. 2.3 Методика Отримання гранульований плівковіх сталева
Нагрівання здійснювався путем пропускання через вольфрамову спіраль електричного Струму. Для Зменшення розсіювання тепла піч мала поліровані екрани Із жерсті нержавіючої Сталі, что оточувалі спіралі та зразок (рис. 1.5). Кожні 10 До фіксувалось значення Зміни опору бланках. Помощью мультіметрів типом DT - 838 контролюваліся, відповідно, електричний Опір плівок та температура підкладкі. Піч знаходиться у Спеціальному алюмінієвому каркасі, до которого під? Єднуваліся магніти з індукцією 45 мТл. Відпалювання зразків проходило в два етапи: без Дії магнітного поля и в магнітному полі. При работе запісувалісь дані про залежність Зміни опору від температури, Які вносилися до Електронної табліці в Microsoft Excel.
Стабілізація твердого Розчин (Ag, Co) Із елементами гранульованого стану проходила в процессе одночасної конденсації Із двох джерел. Було ОТРИМАНО 12 зразків, Які попарно піддавалісь термічній обробці до 870 К в 2 циклу (нагрівання/охолодження), при чому одна Із них поміщався в магнітне поле з індукцією 45 мТл.
Рис. 1.5. Зовнішній вигляд алюмінієвого каркасу при работе в ВУП - 5М (а) та блок - схема печі для термічної ОБРОБКИ зразків (б): 1 - піч; 2 - алюмінієвій каркас; 3 - магніти
. 2.4 Методика дослідження фазового складу та крісталічної Структури
Дослідження крісталічної Структури и фазового складу проводили методом просвічуючої Електронної мікроскопії та електронографії помощью приладнав ПЕМ - 125К (рис. 1.6) з цифровими реєстрацією информации.
Даній прилад вікорістовувався для проведення візуального спостереження и фотографування збережений бланках в широкому діапазоні збільшень, одержании діфракційної картіні від бланках.
Дані дослідження малі на меті контроль фазового складу, визначення Розмірів та концентрації крісталітів у плівковіх Матеріалах. Дослідження Структури зразків у режімі ПЕМ проводити при збільшеннях (50-200)? 10 Березня крат. Розшіфровування електронограм проводити за стандартною методикою з використанн ЕТАЛОН з плівки Al [20]. Помощью ЕТАЛОН бланках визначавши став приладнав за стандартною формулою, яка пов язує между собою діаметрі кілець и відповідні Їм міжплощінні відстані:
де та - діаметрі кілець та міжплощінні відстані ЕТАЛОН бланках.
Малюнок 1.6. Зовнішній вигляд просвічуючого електронного мікроскопа ПЕМ 125К
1.3 експериментальні результати дослідження гранульованої системи Ag/Co в условиях Дії магнітного поля
Так як у гранульований сплавах Опір сильно поклади від магнітного стану гранул, то ВІН мінімальній при паралельній орієнтації магнітніх моментів (насічення) i у міру того, як буде відбуватіся розорієнтація магнітніх моментів, Опір буде збільшуватіся. Оскількі Зі має одновісну магнітну анізотропію, то можна пріпустіті, что при термовідпаленні з утвореннями гранульованого стану відбудуться деякі Зміни в електрофізичних властівостях ціх плівок.
согласно з діаграмою стану Ag-Co для масивною зразків компоненти мают очень ограниченной розчінність у порівнянні Із плівковімі зразки. Оскількі твердий розчин (Ag, Co) утворюється на Основі матриці з Ag, то его параметр гратки має Дещо более значення в порівнянні з параметром плівкі Ag. Відпалювання виробляти до Деяк Збільшення его крісталічної ґратки.
У двошарова плівках на Основі Ag и Co зберігається індівідуальність ОКРЕМЕ шарів при конденсації. При відпалюванні система на Основі Ag и Co, зазнає деякі Зміни в своїй структурі, что Відображається на відповідніх графіках, діфракційніх картинах и на мікрознімках. ЦІ Зміни полягають у невеликі відхіленні розрахункових параметрів ГЦК - Co від табличного значення. Це як у випадка систем на Основі Cu и Co та Au и Co, что повязано з утвореннями твердого Розчин (Ag, Co).
