го (Першого) ступенів. Оскількі Ступені включені послідовно, то умів нерозрівності газового потоку через насос є наступна:
Рис. 2.2. Схематично зображення багатоступеневого діфузійного насоса: 1,2 - діфузійні Ступені, 3 - водяне охолодження, 4 - ежекторній степень, 5 - кип ятільнік
1 P 1 (вхід)=S 2 P 2=...=S и P і (вихід), (2.1)
де S й й P і - ШВИДКІСТЬ відкачування и Тиск для і-го ступенів насоса, відповідно.
Оскількі P 1 lt; P 2 lt; ... lt; P І, то площа поверхні послідуючого ступенів (парового Ковпака) зменшується (рис.2.2. (1,2)). Ефективна и синхронна робота шкірного ступенів насоса покладів від правильного розподілу парі между соплами. Це досягається [8] Експериментальна підбором діаметрів паропроводів и вихідних щілін сопел. Як правило, сучасні насоси мают від 3 до 5 відкачніх ступенів. Останній (вихідний) степень, як правило, є ежектором, тобто вместо тарілчаного сопла (1, 2 на рис. 2.2), Пожалуйста формує конічну поверхню струменить з великою площею, вікорістовується трубчасті сопло малого діаметра (4) (ежекторне сопло), Пожалуйста дает короткий, но густа струмінь парі. У результате использование ежекторного ступенів вдається збільшити Тиск на віході з діфузійного насоса до 10 - 1 Тор (1Па) i використовуват для відкачування діфузійніх насосів ротаційні насоси у якості форвакуумних насосів. Саме таким и є Последний степень (4) насоса, збережений на рис. 2.2.
Сучасні діфузійні насоси виготовляють Повністю МЕТАЛЕВИЙ - корпуси виготовляють з чорних сталей або алюмінію, а паропроводів - з нержавіючої сталі та алюмінію. Пружність парі СУЧАСНИХ масел для діфузійніх насосів лежить в області 10 - 4 - 10 +9 Па при кімнатних температурах, а тому даже без нізькотемпературніх уловлювачів граничний вакуум таких насосів становіть 10 - 7 - 10 - 8 Тор (10 - 5 - 10 - 6 Па) , а з використанн азотних уловлювачів - 10 - 10 Тор (10 - 8 Па).
Ще однією особлівістю паромаслянимі діфузійніх насосів є необходимость создания попередня вакууму ~ 1Па (~ 10 - 2 Тор), як при запусканні насоса, так и у процессе его роботи. У противному разі масло виходим з ладу (згорає, окісляється). Масло такоже виходим з ладу при аварійному проріванні атмосферного Повітря у працюючий насос.
Охолоджування стінок корпусів діфузійніх насосів, як правило, здійснюється проточних водою кімнатної температури. Підвищення температури води до 50 ° С приводити до погіршення граничного вакууму насоса у 3-5 разів. Тому системи охолодження конструюють з таким розрахунком, щоб Забезпечити Невеликий перепад температур води на віході и вході в насос. Як правило, витрати води становляит від 0,5 л/хв для невеликих насосів з бістротою Дії 100-300 л/с до десятків літрів за Хвилини для потужном насосів.
Малі насоси з SH lt; 100 л/с могут мати повітряне охолодження корпусу, як Звичайне, так и з обдування вентилятором. У такому випадка корпус насоса (зовні) має радіатори.
Потужність нагрівніків діфузійніх насосів змінюється у межах від Р=200-250Вт (для малих насосів зі швідкістю відкачування ~ 100тл/с) i до 25 кВт для насосів зі швідкістю відкачування 40000-50000 л/с. Відповідно маса діфузійніх насосів змінюється у межах від 3-4 кг до 1000 кг у залежності від бістроті Дії [7].
вакуумний насос спектрограма атмосфера
Розділ 3. Вимірювання вакууму
. 1 Класифікація методів та приладів для вимірювання малих тісків газів
Лещата, Які Використовують у сучасній вакуумній техніці, лежати у межах від 10 +5 Па до 10 - 12 Па. Вимірювання у такому широкому діапазоні тісків, нажаль, що не может буті ЗАБЕЗПЕЧЕННЯМ одним приладнати. У сучасній практике вимірювання тісків розрідженіх газів корістуються різнімі типами приладів, Які відрізняються конструкцією, принципом Дії, діапазоном вимірювання и класом точності. ЦІ прилади здобули Назву вакуумметрів. Смороду, як правило, складаються з двох частин - манометрічного Перетворювач и вимірювального блоку. За методом вимірювання вакуумметрах могут буті розділені на абсолютні та відносні. Показів абсолютних вакуумметрів НЕ залежався від виду газу. Відносні вакуумметрах Використовують залежності параметрів ряду фізичних процесів, что відбуваються у вакуумі, от ступенів розрідження газу. Смороду потребують попередня градуювання за Зразкове приладами.
На рис. 3.1 схематично уявлень ДІАПАЗОН робочих тісків різніх тіпів вакуумметрів.
Рис.3.1. ДІАПАЗОН робочих тісків різніх тіпів вакуумметрів.
Детально Зупинимо на найбільш шіроковжіваніх приладнати для вимірювання низьких и високого вакууму, Які вікорістані в даній работе - теплових и Електрон вакуумметр...
