ичним місцем для AFM є матеріал і геометрія кінчика голки, що визначають її стійкість і просторову роздільну здатність методу. Еквівалентний радіус заокруглення сучасних голок з алмазу або кремнію, покритого алмазної плівкою, має типове значення 10 - 30 нм, що в сприятливих умовах достатньо для досягнення атомного дозволу. Однак у процесах модифікування поверхні або AFM-літографії стійкість голки поки є серйозною проблемою.
бліжнепольного оптична мікроскопія (Scanning Near-field Optic Microscopy - SNOM). Зондом в цьому випадку є оптичний хвилевід (Световолокно), звужується на тому кінці, який звернений до зразка, до діаметра менше довжини хвилі світла (рис. 5). У цих умовах світлова хвиля не виходить з хвилеводу на велику відстань, а лише злегка В«вивалюєтьсяВ» з його кінчика. На іншому кінці хвилеводу встановлені лазер і фотоприймач відбитого від вільного торця світла. При малій відстані між досліджуваної поверхнею і кінчиком зонда амплітуда і фаза відбитої світлової хвилі змінюються, що й служить сигналом, використовуваним при побудові тривимірного зображення поверхні. Останнім часом лазер і фотоприймачі стали формувати на самому кінчику зонда методами нанотехнології, що дозволяє об'єднати можливості АРМ і SNOM (рис. 6), а також і інших зондових методів.
В
Рис. 5. Бліжнепольного оптична мікроскопія ( SNOM ):
1 - хвилевід, звужується до нижнього кінця; 2 - фотоприймач; 3 - світлове поле відкритого кінця хвилеводу з діаметром менше довжини хвилі світла
В
Рис. 6. Схема комбінованого зонда:
1 - вістря; 2-4 - напилені гетерослоі, що утворюють лазер, фотоприймач, термопару і т.д.
Слід зауважити, що описані способи SPM та їх численні модифікації будують зображення досліджуваної поверхні на моніторі комп'ютера за підтримки потужних спеціалізованих програм, фільтруючих, обробних і коригувальних сигнал із зонда у відповідності з поставленими завданнями дослідження. Так що до отриманого тривимірному зображенню поверхні необхідно ставитися як до нікому умовного способу, який несе кількісну інформацію про фізичних, хімічних, топологічних та інших локальних особливостях поверхні. У кращих модифікаціях STM і AFM відносно легко досягається атомне дозвіл, за яке пучкова електронна мікроскопія боролася більш півстоліття і зараз досягає його у вкрай рідкісних випадках.
Розміри і вартість зондових мікроскопів значно нижче, ніж вартість традиційних електронних, а можливості більше: вони можуть працювати при кімнатній, підвищеної і кріогенної температурах, на повітрі, у вакуумі та в рідини, в умовах дії сильних магнітних і електричних полів, НВЧ і оптичного опромінення тощо ЗОНДОВОГО методами можна досліджувати самі різноманітні матеріали: провідні, діелектричні, біологічні та інші без істотного пошкодження об'єкта і трудомісткою підг...
