антимоніді індію
Карбід кремнію
Атомна молекулярна маса
28,1
72,6
144,6
118,3
40,1
Щільність, г/см -3
2, .33
5,32
5,4
5,78
5,32
Концентрація атомів в€™ 10 22 , см -3
5
4,4
1,3
1,4
4,7
Постійне решітки, нм
0,543
0,566
0,563
0,648
0,436
Температура плавлення, В° С
1420
937
1238
520
2700
Коефіцієнт теплопровідності, Вт/(см в€™ К)
1,2
0,586
0,67
0,17
0,084
Питома теплоємність, Дж/(г в€™ К)
0,76
0,31
0,37
1,41
0,62 ... 0,75
Рухливість електронів, см 2 /(В в€™ с)
1300
3800
8500
77000
100 .. 150
Рухливість дірок, см 2 /(В в€™ с)
470
1820
435
700
20 ... 30
Відносна діелектрична провідність
12
16
11
16
7
Коефіцієнт дифузії електронів, см 2 /c
33,6
98
220
2200
2,6 ... 3,9
Коефіцієнт дифузії дірок, див 2 /с
12,2
47
11,2
18
0,5 ... 0,77
Ширина забороненої зони, еВ (Т = 300 К)
1,12
0,67
1,41
0,18
3,1
Таблиця 2.3 - Ширина забороненої зони (в еВ) елементарних напівпровідників (при T = 300K) [5, стор 134]
В
Елемент
Е
Бор
1.1
Вуглець (алмаз)
5.6
Кремній
1.12
Германій
0.0665
Олово
0.08
Фосфор
1.5
Миш'як
1.2
Сурма
0.12
Сірка
2.5
Селен
1.8
Тейлур
0.36
Йод
1.25
При виготовленні ІМС застосування отримали кремній, германій, арсенід і фосфід галію, антимонід індію, карбід кремнію. Найбільш поширеними у цій галузі є кремній, однак застосування в виготовленні ІМС знаходять багато з перерахованих вище з'єднання.
Арсенід галію GaAs, що володіє більш високою рухливістю електронів і більшою шириною забороненої зони. Його застосовують в ІС високої швидкодії, зокрема в мікросхемах СВЧ, але головним чином для виготовлення дискретних приладів НВЧ. Широкому застосуванню цього матеріалу в мікроелектронної технології перешкоджає складність його отримання та обробки. Арсенід галію GaAs, фосфід галію GaP, карбід кремнію SiC служать для виготовлення світлодіодних структур у оптоелектронних ІС. Антимонід індію InSb, що має дуже високу рухливість електронів, є перспективним матеріалом для створення ІС дуже високого швидкодії. Однак через малу ширину забороненої зони цього напівпровідника робота таких мікросхем можлива лише при глибокому охолодженні [7].
Кремній кристалізується в структурі алмазу. ...
