Для отримання композиційних наноструктур на основі діоксиду олова був застосований метод реактивного іонно-променевого розпилення складовою мішені з металевого олова і смужок марганцю в атмосфері аргону - кисню. Напилювальні установка була виготовлена ​​на основі вакуумного напилювальні поста УВН-2М. Параметри напилених плівок контролювалися загальноприйнятими методами.
Товщина плівок визначалася на інтерференційному мікроскопі МИИ-4. Електричний опір вимірювали четирехзондовим методом (ЦІУС-4). Концентрацію і рухливість носіїв заряду визначали за допомогою ефекту Холла за методом Ван дер Пау. Газова чутливість плівок вимірювалася як відношення опору плівки на повітрі (R в ) до опору плівки при напуск в кювету відомої концентрації досліджуваного газу (R г ): S g = R в /R р.
У результаті виконаних досліджень встановлено, що плівки після виготовлення мають переважно аморфну ​​структуру. При високотемпературному відпалі відбувається їх кристалізація і стабілізація електричних параметрів. Для стабілізації структури і електричних параметрів плівок застосовувався триступеневий ізотермічний відпал при температурах 300 про С, 400 про С і 500 про С протягом 10 годин. Відпалюють плівки-нанокомпозити SnO x : MnO у мають поверхневий опір 1,7 - 3,3 МОм, тоді, як плівки на основі чистого діоксиду олова, отримані при аналогічних режимах, мають опір лише десятки килом [2].
Досліджувалася газова чутливість плівок на основі SnO 2 до пар етанолу, пропанолу, ацетону, аміаку і формальдегіду в повітрі. Виявлено, що нелеговані плівки SnO 2 володіють максимальною чутливістю до пар етанолу при температурі 330 про С, а плівки нанокомпозити, SnO х : MnO у , виявляють максимальну чутливість до пар етанолу при більш низьких температурах, ніж плівки нелегованого діоксиду олова. Наприклад, нанокомпозити SnO х : MnO у з процентним вмістом Mn 0,4% ат. володіють максимальною чутливістю до пар етанолу при температурі 220 В° С. Плівки SnO 2 : (1,7% ат) Mn мають максимальну чутливість до пар етанолу при 180 В° С, а плівки SnO 2 : (5% ат) Mn мають максимальну чутливість до пар етанолу при 200 В° С (рис.1)
Встановлено, що плівки SnO 2 володіють максимальною чутливістю до пар ацетону при температурі 360 про С, а плівки-нанокомпозити, SnO х : MnO у , виявляють пари ацетону при більш низьких температурах, ніж плівки нелегованого діоксиду олова. Наприклад, нанокомпозити SnO х : MnO у з процентним вмістом Mn 0,4% ат. володіють максимальною чутливістю до пар ацетону при температурі 160 В° С. Плівки SnO 2 : (1,7% ат) Mn мають максимальну чутливість до пар ацетону при 100 В° С, а плівки SnO 2 : (5% а...
