а малоіндуктівного контуру, що призводить до малого значення досягається перенапруги К п і збіднення прикатодной області початковими електронами. Наслідком цього є погіршення умов формування об'ємного розряду.
У варіанті еЛС, зображеної на рис. 4, в, малий час наростання напруги на електродах забезпечується багатоканальним разрядником. При імпульсної, тобто щодо швидкої, зарядці малоіндуктівного накопичувача здійснення багатоканального пробою, як буде показано нижче, досягається порівняно легко. Саме в подібній електророзрядної схемою отримані рекордні рівні енергії генерації в моноімпульсного режимі.
Різноманіття завдань, в яких можуть бути використані ексимерні еЛС, визначає їх конкретний пристрій.
Принципові схеми електророзрядних лазерних систем
1.6 Об'ємний розряд в інертних газах та їх сумішах з галогеносодержащіе молекулами
Складні і численні процеси, що протікають в імпульсному газовому розряді, сильно залежать від параметрів розряду, зокрема від таких, як підводиться до розряду напруга, тиск і сорт газу. При малому перенапруженні (К п = U / U n = 1,01, де U - напруга на електродах, U пр - пробивна напруга) і атмосферному тиску має місце таунсендовскій механізм пробою у вигляді сукупності електронних лавин. В принципі, протікання струму в цьому випадку може мати об'ємний характер. При низькому тиску такий розряд зазвичай називають тліючим. При перенапруженні К п ? 1,1 лавина може переходити в стример-ниткоподібний канал, добре реєстрований візуально. Якщо не вживати спеціальних заходів, розряд при стримерного механізмі пробою зазвичай завершується розвитком локалізованої в просторі іскри.
Однорідність протікання струму між протяжними електродами визначається рядом чинників, що знаходяться в досить складному взаємозв'язку. До основних факторів слід віднести умови попередньої іонізації, режим введення енергії в розряд, геометрію активного об'єму і тип електродів (металевий, плазмовий). Умови попередньої іонізації включають насамперед рівень створюваної до початку розвитку основного розряду концентрації електронів п ео і однорідність їх розподілу в газорозрядному обсязі. Режим введення енергії визначається початковим перенапруженням К п , часом введення енергії в розряд t в, характерним значенням електричної потужності, що виділяється в розряді (W B = jE, де j - щільність струму; E -напруженість електричного поля). Геометрія активного об'єму, яка характеризується зазвичай параметром d / S (де d - межелектродное відстань; S - площа електрода), в значній мірі визначає умови узгодження хвильового опору схеми живлення з опором ОР. Тип електродів, а також їх профіль впливають на розподіл поля в міжелектродному об'ємі і, в якійсь мірі, на стійкість ОР. Перераховані фактори, що визначають характерист...
