span align="justify"> В° C;
П'ята операція фотолітографії по сплаву алюміній-кремній для формування контактних майданчиків. У вікнах, розкритих у захисному окисле, сплав утворює електричний контакт з кремнієм після короткочасного відпалу (10 хв) при температурі (550 В± 1) В° C в атмосфері азоту;
Контроль функціонування магнітодіодов за допомогою вимірювача характеристик напівпровідникових приладів типу Л2-56;
Проводиться низькотемпературне осадження окису кремнію (SiO2) товщиною 0,37-0,52 мкм для захисного покриття магнітодіода (пасивація) при температурі 420-450 В° C;
Проводиться шоста фотолітографія по плівці захисного діелектрика для розтину вікон до контактних площадок. При виготовленні магнітодіодов застосовуються багатошарові контактні площадки. В якості контактного і адгезійного шарів використовується плівка хрому з питомим опором r S = 180-220 Ом/ Гї , а в якості провідного шару - плівка міді товщиною (1-1,5) мкм;
Напилювання плівок хрому і міді;
Проводиться сьома фотолітографія для нанесення гальванічного покриття сплаву олово-вісмут товщиною 8-12 мкм на контактні площадки для захисту плівки від окислення і для поліпшення приєднання зовнішніх висновків до контактних площадок;
Гальванічне нарощування шарів олово-вісмут;
Монтаж кристала на плату.
Далі наведемо опис техпроцесу виготовлення плати:
Очищення підкладки. Метою очищення є видалення забруднень, таких як пил, жирові плями. Для забезпечення гарної адгезії при напиленні шарів підкладку кип'ятять у спеціальному розчині (перекис водню, аміак, вода в співвідношенні 40:1:125) і промивають деіонізованій водою;
Сушка підкладки. Виробляється в середовищі інертного газу на центрифузі;
Напилювання через трафарет термовакуумних методом резистивного матеріалу-сплаву РС-3710. Сплав напилюють до отримання r s = 5000 Ом/ ? . Для контролю використовують В«контрольну смужку опоруВ»;
Напилювання через трафарет термовакуумних методом підшару хрому товщиною 0,01 мкм.;
Напилювання через трафарет термовакуумних методом проводить шару для провідників і контактних майданчиків - золото марки Зл 999,9 - завтовшки 0,5 мкм;
Контроль геометрії резисторів; <...
