ладка, GaAs; 3 - розчин Ga = As; 4 - ізолятор
Розділ 2. Молекулярно-променева епітаксія
Молекулярно-променева епітаксія (МПЕ) являє собою процес Отримання епітаксійніх плівок методом конденсації молекулярних пучків на підкладці у вакуумі. Джерелом молекулярних пучків є напівпровідніковій материал, в основному кремній. Випаровуваності матеріалу відбувається в результаті Дії на напівпровіднік сфокусованого електронного пучка або в результаті прямого розігріву ЕЛЕКТРИЧНА Струмило кремнієвої пластини. У последнего випадка зразок (джерело) НЕ плавитися, а здійснюється сублімація и перенесеного Речовини на підкладку [ 1, 2 ] .
Найбільш ВАЖЛИВО Вимогами, что пред'являються до молекулярних джерел, є висока чистота молекулярних пучків та поверхні джерела, стабільна ШВИДКІСТЬ випаровуваності в робочому режімі, великий запас робочої Речовини, можлівість нагріву Речовини, что віпаровується, в широкому інтервалі температур.
Процес МПЕ відбувається в вакуумі при Тиску 1,33 ' 10 -6 -1,33 ' 10 -8 Па, и при температурі 400-800 В° С. ШВИДКІСТЬ зростанню епітаксійного шару при ціх умів ставити 0,01-0,03 мкм/хв. и практично дорівнює Швидкості росту плівкі, яка отримується в процесі епітаксії з парогазової фази. У тієї ж годину молекулярно-променева епітаксія має ряд ПЕРЕВАГА в порівнянні з процесом епітаксії з парогазової фази, основної з якіх є:
- більш низька температура технологічного процеса при МПЕ зменшує дифузію домішок з підкладкі та автолегування;
- куля, отриманий в результаті МПЕ має високий Пітом Опір, так як ймовірність потрапляння сторонніх домішок на підкладку у вакуумній камері мала;
- відсутність проміжніх хімічніх реакцій и діфузійніх ефектів, мала ймовірність Зіткнення часток у Високому вакуумі дають можлівість точно Керувати процесом МПЕ Шляхом Зміни параметрів джерела, Наприклад, температура и годині випаровуваності Речовини [ 1 ] .
Процес зростання плівкі ПОЧИНАЄТЬСЯ з з'явитися в різніх місцях поверхні підкладкі скупчень атомів. У ході процеса збільшується як кількість ціх скупчень, так и їх величина. У результаті смороду замікаються, утворюючі початковий куля плівкі. Таким чином, початкова безперервна плівка Вже має м...
