ЗМІСТ
ВСТУП
1. ЗАГАЛЬНІ ВІДОМОСТІ
2. ПРОЦЕС ЗАРЯДКИ ПІЛОВОЇ Частинку
3. ВЗАЄМОДІЯ между Пілов Частинку
4. НЕІДЕАЛЬНІСТЬ ПІЛОВОЇ компонентів
5. ФАЗОВІ переходу в Пілов ПЛАЗМІ
6. ТРІВІМІРНІ Кристалічні структури МАКРОЧАСТІНОК У ТЛІЮЧОМУ РОЗРЯДІ постійного струм
ВИСНОВКИ
Використана література
ВСТУП
Комплексна (Пілов) плазма - область фізики, яка очень Бурхливий розвівається сегодня. Ее особлівістю є Сильний зв язок между однією з компонент - Пілов частинками, Які мают великий електричний заряд-до 106 Елементарна. Така плазма є НЕ Ідеальною. У ній утворюються Структури різного ступенів впорядкованості: плазмовий кулонівській кристал, Пілов рідина. Фізика формирование структур, сил взаємодії между Пілов частинками сегодня очень активно вівчається. Пілов плазма широко ширший у -природі, например, в астрофізічніх про єктах. Вона утворюється в технологічних процесах, в продуктах згоряння, при віготовленні мікросхем и тонких плівок, при Ядерний вибух.
Пілов плазма, яка складається з електронів, іонів та зарядженості Пілов частінок, останнім годиною є предметом інтенсівніх ДОСЛІДЖЕНЬ. Це обумовлено широким Розповсюдження подобной плазми в космосі [1,2], лабораторних експеримент та промислових установках плазмового травлення для создания комп`ютерний мікросхем, нанесення плівок [3]. Проведені експериментальні дослідження показали, что для пілової плазми характерні процеси самоорганізації, внаслідок якіх пілові частинки локалізуються в областях з різкімі границями. Зокрема, дослідження запорошеної плазми в условиях мікрогравітації показали Утворення Пілов згустків та пустот, Які мают стійкі границі з шириною, порядку відстані между Пілов частинками [4,5]. У ряді робіт були запропоновані теоретичні Пояснення цього явіща. В [5] Було вісунуто ідею, что Утворення пустот Всередині Пілов згустків обумовлено РОЗВИТКУ плазмових нестійкостей и вірішальне значення має дія на пілові частинки електрічної сили та сили іонного вітру. Проти в цьом пітанні щє не існує полного розуміння. У більшості моделей Використовують рівноважні розподілі для електронів та іонів, справедливість якіх віклікає сумнів. Зокрема, в [6] показано, что на границях между електрон-іонною плазми и плазми з Пілов частинками вінікають подвійні шари, Які могут поясніті Утворення різкіх границь в запорошеній плазмі. Для самоузгодження Описання процесса Утворення Вказаною структур та патенти враховуваті іонну інерцію.
1. ЗАГАЛЬНІ ВІДОМОСТІ
Пілов плазма є квазінейтральній іонізованій газ з твердими частинками, Які в плазму вводяться ззовні, або в ній утворюються и ростут. У лабораторній Пілов плазмі макрочастінкі (пілові частинки) могут мати розмір а від 0, 01 до100 мкм. Взагалі, Пілов Частинку вважається та, розмір якої менше дебаївського радіусу а lt; d. У лабораторних условиях Пілов плазма булу Вперше Виявля Ленгмюром ще в 1924 году. Ее Утримання в розряді відбувається за рахунок з'явилися негативні заряду у Пілов частінок. Тіло, поміщене в плазму, находится под Плаваюча потенціалом? fl. Розглядаючі Частинку як Тіло електроємністю С ~ a, можна оцініті ее заряд: q ~ a? fl. У нізькотемпературній плазмі Плаваюча Потенціал может достігаті 30 В, а заряд макрочастінок болем 103 Елементарна. Негативно заряджені макрочастінкі в області достаточно сильного електричного поля утрімуються в плазмі: mdg=Eq, тут md - маса макрочастінкі. У стінок газорозрядної камери (з тієї ж причини) утворюється потенційній бар'єр, и однойменно заряджені частинки НЕ Йдут на стінкі. Таким чином, газовий розряд створює природну потенційну пастку для Пілов частінок. У плазмі створюються плазмово-пілові Утворення. При підсвічуванні порошинка, например, лазерним Променю, можна спостерігаті практично неозброєнім оком. Джерелом Пілов частінок є віпаровуються з поверхонь камери та електродів частинки, в лабораторних експеримент частинки інжектуются в розрядно камеру зверху.
Активне дослідження пілової плазми почав у Останнє десятиліття у зв'язку з обертав свої Додатків, таких як електрофізіка и електродінаміка продуктов згоряння ракетних палів, електрофізіка РОбочий поля магнітодінамічніх генераторів на твердому паливі. Особливе стимулом стало Виявлення в 1994 р. плазмово-Пілов структур крісталічного типом в лабораторній плазмі вісокочастотного розряду.
необходимость Вивчення властівостей пілової плазми пов'язано з широким Використання технологій плазмового напилення и травлення в мікроелектроніці, а такоже при ВИРОБНИЦТВІ тонких плівок и наночастінок. Наявність частінок в плазмі НЕ лишь виробляти до забруднення ...
