Зміст
Вступ
Розділ 1. одержании високого вакууму
1.1 Поняття про вакуум
1.2 Загальна характеристика вакуумних насосів
1.3 ОБЛАСТІ Дії вакуумних насосів
Розділ 2. Діфузійній паромаслянимі насос
2.1 Принцип Дії насоса
2.2 Конструкції СУЧАСНИХ діфузійніх насосів
Розділ 3. Вимірювання вакууму
3.1 Класифікація методів та приладів для вимірювання малих тісків газів
3.2 Теплові, електронні іонізаційні вакуумметрах
3.3 Мас-спектрометрічній хімічний аналіз газів
Розділ 4. Основні Вузли експериментальної вакуумної установки УВЛ - 8
4.1 принципова схема вакуумної установки УВЛ - 8
4.2 Порядок роботи на вакуумній установці УВЛ - 8
4.3 Порядок роботи з мас-спектрометром МХ +7303
Розділ 5. експериментальні результати
5.1 Мас-спектрограмі залішкової атмосфери
Висновки
Список використаних джерел
Вступ
качанів наукового Вивчення вакуумних явіщ можна вважаті тисячі шістсот сорок три рік, коли учень Галілея Торрічеллі Вперше віміряв атмосферного Тиск Повітря. Примерно в 1650 году німецький фізик Отто фон Геріке винайшов повітряний насос и за его помощью провів ряд вакуумних ДОСЛІДЖЕНЬ (трактат Нові Досліди про порожній простір raquo ;, 1672 рік).
Альо найбільш значні Відкриття в вакуумній техніці були зроблені напрікінці XIX на початку XX століття. З цього годині почінається так звань технологічний етап розвитку вакуумної техніки.
Наведемо коротко в хронологічному порядку основні віхі цього етапу:
рік - винайдення Першого електровакуумних приладнав - електрічної лампи розжарення А.М. Лодігінім ..
рік - винайдення Мак-Леодім компресійного манометра.
рік - Відкриття Едісоном явіща термоелектронної емісії.
рік - Лебедєв реалізує в своих дослідах ідею відкачування Повітря парами ртуті.
рік - винайдення Геде обертального насоса.
рік - винайдення Д юаром КРІ осорбційного насоса.
рік - винайдення Пірані теплового манометра.
рік - винайдення Геде молекулярного насоса.
рік - винайдення Геде діфузійного насоса.
І6 рік - винайдення Баклі іонізаційного манометра.
У ЦІ роки були поведені фундаментальні Досліди по вивченню властівостей розрідженіх газів (Кнудсен, Смолуховській, Ленгмюр, Дешман). У Нашій стране в 1928 году Векшінськім булу організована перша Вакуумна лабораторія, яка Згідно переросла в НДІ вакуумної техніки.
І948-І952 роки - створення Ноттінгемом и Альперт нового типу, іонізаційного манометра з широким діапазоном вимірювань.
рік - розробка Беккером турбомолекулярного насоса.
рік - розробка Джепсеном и Холанд магніторозрядного насоса.
Розробка та вдосконалення вакуумних насосів продовжується и до цього годині. У значній мірі в останні роки вона зумовлена ??потребами в так званому безмасляного надвісокому вакуумі »для потреб атомної та ядерної фізики и техніки, виробництва приладів сучасної мікроелектронікі, космічної техніки та так званні новітніх технологій.
Завершуючі цею очень Стислий ПЕРЕЛІК основних винаходів в вакуумній техніці, та патенти відмітіті Надзвичайно тісній зв язок и взаємообумовленість розвитку вакуумної техніки в відповідності до Запитів фізики и особливо СУЧАСНИХ технологий. В наш час: практичніше не можливо назваті хоч одну галузь промісловості де б НЕ вікорістовувалісь вакуумні насоси та вакуумні технології. Даже простий ПЕРЕЛІК таких промислових виробництв зайнять бі декілька сторінок. Більш детально про! Застосування вакуумних технологій можна ознайомітіся у вказаній літературі.
Про єкт дослідження: одержании високого вакууму.
Предмет дослідження: одержании високого вакууму помощью діфузійного паромасляного насоса.
Мета: Ознайомітіся з фізічнімі принципами роботи діфузійного паромасляного насосу, отріматі з его помощью високий вакуум та дослідіті склад залішкової атмосфери експериментальної вакуумної установки УВЛ - 8.
Завдання:
. Ознайомітіся з конструкцією експериментальної вакуумної установки УВЛ - 8.
. Отріматі високий вакуум помощью діфузійного паромасляного насосу.
