Теми рефератів
> Реферати > Курсові роботи > Звіти з практики > Курсові проекти > Питання та відповіді > Ессе > Доклади > Учбові матеріали > Контрольні роботи > Методички > Лекції > Твори > Підручники > Статті Контакти
Реферати, твори, дипломи, практика » Новые рефераты » Іонні насоси в технології MEMS

Реферат Іонні насоси в технології MEMS

















Іонні насоси в технології MEMS

Зміст


Загальна характеристика вакуумних насосів

Іонні насоси

Іонні насоси з гарячим катодом

Іонно-сублімаційний насос з подачею титану

Іонно-сублімаційні тріодний насоси

Електростатичний іонно-сублімаційний насос

Іонні насоси з холодним катодом

Насоси, засновані на принципі іонно-сорбційної відкачування

Технологія MEMS


Загальна характеристика вакуумних насосів


Всі вакуумні насоси можна розділити на Високовакуумні і нізковакуумний, а за фізичним принципом дії - на механічні, сорбційні, іонні. Серед механічних насосів виділяють об'ємні і молекулярні, засновані на передачі кількості руху молекулам газу від рухомих поверхонь. p align="justify"> Насоси об'ємного типу здійснюють відкачку за рахунок періодичної зміни обсягу робочої камери. Цей тип вакуумних насосів з'явився раніше інших і отримав широке застосування в різних конструкціях: поршнева, рідинно-кільцева і ротаційна. p align="justify"> Серед насосів з передачею кількості руху молекулам газу розрізняють: водоструминні, ежекторні, дифузійні і молекулярні. Їх характеристики можна розрахувати на підставі закономірностей внутрішнього тертя в газах. p align="justify"> Сорбційні явища у вакуумі широко використовуються для відкачування газів з вакуумних систем. На принципі хемосорбції заснована робота випарних насосів. Фізична адсорбція і конденсація використовуються для відкачування газів кріосорбціоннимі насосами: адсорбційними і конденсаційними. p align="justify"> Направлений рух попередньо заряджених молекул газу під дією електричного поля є основою роботи іонних насосів. Принцип іонної відкачування спільно з сорбційним використовується в конструкціях іонно-сорбційних насосів. p align="justify"> Основними параметрами будь-якого вакуумного насоса є: швидкість дії, граничний тиск, найменше робочий тиск, найбільший тиск запуску і найбільшу випускний тиск.

В 

Розглянемо схему найпростішої вакуумної системи (рис. 1), що складається з відкачуваного об'єкта 1, насоса 2, і з'єднує їх трубопроводу. Перебіг газу з відкачуваного об'єкта в насос відбувається через різницю тисків (p 1 - p 2 ), причому p 1 > p < span align = "justify"> 2 .

Швидкість відкачки насоса S i в довільному перерізі сполучного трубопроводу мо...


сторінка 1 з 14 | Наступна сторінка





Схожі реферати:

  • Реферат на тему: Насоси об'ємного типу
  • Реферат на тему: Поршневі ексцентрикові насоси: конструкція і принцип дії
  • Реферат на тему: Сточно-динамічні фекальні насоси типу ЦД
  • Реферат на тему: Відцентрові насоси
  • Реферат на тему: Теплові насоси