Іонні насоси в технології MEMS
Зміст
Загальна характеристика вакуумних насосів
Іонні насоси
Іонні насоси з гарячим катодом
Іонно-сублімаційний насос з подачею титану
Іонно-сублімаційні тріодний насоси
Електростатичний іонно-сублімаційний насос
Іонні насоси з холодним катодом
Насоси, засновані на принципі іонно-сорбційної відкачування
Технологія MEMS
Загальна характеристика вакуумних насосів
Всі вакуумні насоси можна розділити на Високовакуумні і нізковакуумний, а за фізичним принципом дії - на механічні, сорбційні, іонні. Серед механічних насосів виділяють об'ємні і молекулярні, засновані на передачі кількості руху молекулам газу від рухомих поверхонь. p align="justify"> Насоси об'ємного типу здійснюють відкачку за рахунок періодичної зміни обсягу робочої камери. Цей тип вакуумних насосів з'явився раніше інших і отримав широке застосування в різних конструкціях: поршнева, рідинно-кільцева і ротаційна. p align="justify"> Серед насосів з передачею кількості руху молекулам газу розрізняють: водоструминні, ежекторні, дифузійні і молекулярні. Їх характеристики можна розрахувати на підставі закономірностей внутрішнього тертя в газах. p align="justify"> Сорбційні явища у вакуумі широко використовуються для відкачування газів з вакуумних систем. На принципі хемосорбції заснована робота випарних насосів. Фізична адсорбція і конденсація використовуються для відкачування газів кріосорбціоннимі насосами: адсорбційними і конденсаційними. p align="justify"> Направлений рух попередньо заряджених молекул газу під дією електричного поля є основою роботи іонних насосів. Принцип іонної відкачування спільно з сорбційним використовується в конструкціях іонно-сорбційних насосів. p align="justify"> Основними параметрами будь-якого вакуумного насоса є: швидкість дії, граничний тиск, найменше робочий тиск, найбільший тиск запуску і найбільшу випускний тиск.
В
Розглянемо схему найпростішої вакуумної системи (рис. 1), що складається з відкачуваного об'єкта 1, насоса 2, і з'єднує їх трубопроводу. Перебіг газу з відкачуваного об'єкта в насос відбувається через різницю тисків (p 1 - p 2 ), причому p 1 > p < span align = "justify"> 2 .
Швидкість відкачки насоса S i в довільному перерізі сполучного трубопроводу мо...
