жна визначити як обсяг газу, що проходить через це перетин в одиницю часу:
i = dV i /dt.
Швидкістю відкачування об'єкта або ефективної швидкістю відкачування насоса називається обсяг газу, що надходить в одиницю часу з відкачуваного об'єкта в трубопровід через перетин I при тиску p 1
SEff = dV1/dt. (1)
Швидкість дії насоса - це обсяг газу, що видаляється насосом в одиницю часу через вхідний патрубок (перетин ближче до насоса) при тиску p 2 :
SH = dV2/dt. (2)
Ставлення ефективної швидкості відкачки насоса до швидкості дії називається коефіцієнтом використання насоса:
Ku = SEff/SH. (3)
Продуктивністю насоса називається потік газу, що проходить через його вхідний перетин. Для стаціонарного потоку виконується умови суцільності:
Q = p2SH = p1SEff = piSi. (4)
Встановимо зв'язок між трьома основними характеристиками вакуумної системи: швидкістю дії насоса S H , ефективної швидкістю відкачування об'єкта S Eff і провідністю вакуумної системи між насосом і відкачуваним об'єктом U. Запишемо наступні рівності:
S H = Q/p 2 = U (p 1 - p 2 )/p 2 , S < span align = "justify"> Eff = Q/p 1 = U (p 1 - p 2 )/p 1 . (5)
Після нескладних перетворень маємо шукану зв'язок:
1/S Eff -1/S H = 1/U. (6)
Це рівняння називається основним рівнянням вакуумної техніки. Для аналізу цього рівняння запишемо його трохи в іншому вигляді:
S Eff = S H < span align = "justify"> U/(S H + U). (7)
