Зміст
Введення
1. Аналіз стану скануючої електронної мікроскопії
1.1 Призначення, типи, марки, класифікація скануючої електронної мікроскопії
1.2 Пристрій і робота скануючого електронного мікроскопа
2. Основні характеристики сучасних скануючих електронних мікроскопів
2.1 Мікроскоп VEGA 3 LM
3. Перспективи вдосконалення скануючих електронних мікроскопів
Висновок
Список використаних джерел
Введення
Для сучасної електроніки характерний, що постійно прискорюється перехід до застосування мате ріалів, елементної бази і комплектуючих виробів, що використовують властивості на користуються властивості нанорозмірних структур. Дедалі більшого значення набувають вироби і пристрої, в яких не менше двох координатних вимірювань відповідають розмірам, на яких проявляються квантові ефекти. Зазвичай такі розміри становлять від одиниць до десятків нанометрів.
Одним з напрямків отримання наноструктур є їх синтез в ході епітаксійного вирощування кристала. Яскравим прикладом може служити бурхливо розвивається в останні роки напрямок по вирощуванню напівпровідникових структур з масивами квантових точок raquo ;. Продемонстровані тут переваги і гнучкість методу молекулярно-пучкової епітаксії дозволили отримати приладові світловипромінюючі структури для поверхнево-випромінюючих лазерів. Різноманітність одержуваних нанооб'єктів з кожним днем ??зростає, причому частина нанооб'єктів несподівані, але надзвичайно затребувані. Так, розробка епітаксійного росту віскерів для тривимірних схем призвела до появи нового продукту - нановолокон, помітно збільшують міцність композиційних матеріалів, а також знаходять застосування при виробництві косметики.
Другим напрямком отримання електронних нанооб'єктів є локальні методи впливу на планарную структуру, до яких, насамперед, відносяться зондові методи, а також фокусовий іонний пучок.
Зазначені методи забезпечують раніше недосяжні можливості програмованого локального впливу на кристал в нанорозмірному і навіть атомному масштабі в поєднанні з унікальною візуалізацією процесу впливу в масштабі до одиниць ангстрем [5].
У зв'язку з цим в даний час широко застосовують скануючі зондові мікроскопи. Вони встановлені в провідних нанотехнологічних центрах Росії, таких як:
Інститут кристалографії РАН;
Московський фізико-технічний інститут (державний університет);
Південний Федеральний університет (колишній Таганрозький радіотехнічний університет).
1. Аналіз стану скануючої електронної мікроскопії
Ось уже кілька десятиліть скануюча електронна мікроскопія НЕ перестає бути чи не основним інструментом отримання фундаментальних знань в розділі наук про матеріали, перетворившись на досить звичний атрибут сучасних лабораторій. Вже неможливо уявити собі швидке і точне вирішення низки завдань без використання скануючої електронної мікроскопії. Широта застосування цього методу обумовлена ??його високою інформативністю і універсальністю, а також простотою і зручністю управління сучасним обладнанням. Скануюча електронна мікроскопія володіє рядом переваг в порівнянні з іншими методами. Наприклад, у порівнянні з традиційною світловій мікроскопії вона відрізняється значно більшими роздільною здатністю і глибиною різкості; відносною легкістю в інтерпретації отриманих зображень завдяки їх тривимірного поданням; можливістю підключення додаткових приладів для аналізу в мікродіапазоне при достатній простоті в адаптації та управлінні цими приладами. Також необхідно відзначити порівняно низькі вимоги до підготовки. У порівнянні зі скануючої зондової скануюча електронна мікроскопія дозволяє досліджувати істотно великі ділянки поверхні; працювати з сильно рельєфними поверхнями; використовувати значно ширший діапазон збільшень; отримувати інформацію не тільки про поверхні, але і про прилеглих до поверхні підповерхневих шарах.
У зв'язку з розробкою нових матеріалів і технологій в останні роки різко зріс інтерес до дослідження особливостей фізичних властивостей і структури малих часток. Відмінність властивостей малих частинок від властивостей масивних зразків було помічено вже давно і використовується в найрізноманітніших технічних додатках, спектр яких дуже широкий. Порошки з малих часток працюють в якості каталізаторів незрівнянно краще, ніж масивні зразки з тих же матеріалів, а введення малих металевих частинок всередину керамічних матеріалів надає цим матеріалам унікальні механічні властивості. Достаток можливих технічних додатків призвело до того, ...
