площинність) для кераміки, металу, скла, неорганічних матеріалів. Ці стандарти необхідно вводити спільно з процедурами калібрування. Також потрібно вирішити задачі моделювання взаємодії досліджуваної структури з вимірювальним інструментом саме на етапі розробки нанорозмірних стандартів. Організація міжлабораторних (не виключаючи міжнародні) порівнянь є не менш важливим напрямком діяльності метрології [2]. p align="justify"> Таким чином, на даний момент часу не існує єдиного ефективного підходу для того, щоб проводити адекватні вимірювання характеристик МФУ як в процесі їх виготовлення, так і при вихідному контролі виробів. Зважаючи на це вкрай актуальною виглядає розробка, дослідження, створення і розвиток методів, які дозволяти характеризувати МФУ в широкому діапазоні розмірів з матеріалів різного типу. Вибір найбільш прийнятної технології виробництва і мінімізація витрат на технологічні процеси при тиражуванні МФУ можливі при контролі розмірних характеристик пристрою. p align="justify"> Таким чином, восстребованних є розвиток методів вимірювання та контролю основних функціональних параметрів МФУ, оскільки ці характеристики визначають аналітичні характеристики (відтворюваність, точність одержуваних результатів, час аналізу і т.п.), а також експлуатаційні властивості ( можливість регенерації, придатність пристрої для подальших аналізів). Зовсім новою областю вимірювань є вимірювання і контроль поверхневих властивостей структур при модифікації. У даному випадку актуальними є завдання: надання поверхні певних однакових (однорідних) властивостей на заданій ділянці (від мікронних до сантиметрових розмірів), контроль суцільності покриття (якщо проводиться модифікація іншими матеріалами, фізичним або хімічним методами) і контроль розмірних характеристик модифікованих поверхонь. br/>
Таблиця 1
Характеристики деяких методів, використовуваних при вимірах МФУ [2, 4, 6].
МетодЛатеральний розмір сканування, мкмЛатеральное дозвіл, нмДіапазон по вертикалі, мкмВертіка-льно разреше-ня, нмОграніченіяСтілусная профілометрія-2000-20000До неск. ммДо 3-5 (гранично-ве) Силовий контакт при вимірюванні, вплив геометрії наконечнікаСІ60? 5502000 <1Діфракціонние явленіяАСМ40 <104 <1Нізкая швидкість сканування, обмежена область ізмеренійСБОМ5020-50 (найкраще), 100 - тіпічное4? 1Нізкая швидкість сканування, обмежена область ізмеренійКЛСМ100 ( 1500)? 250 (300) 80 <800 (750) Обмежено латеральне і аксіальне дозволу
Виявлено, що найбільш істотними параметрами для мікрофлюідікі є: шорсткість поверхні, змочуваність поверхні (гідрофільна або гідрофобна), геометричні характеристики мікроканалах (форма перетину, довжина, ширина каналів), фізико-хімічні характеристики матеріалу мікрочіпа. При використанні електрокінетичних методів розділення (аналізу) проби в МФЧ якість розділення проби на компоненти і, отже, аналітичні характеристики, також будуть залежати від зазначених парам...
