етрів мікрочіпа і характеристик проби і реагентів. p align="justify"> У ході реалізації проекту буде проведено обгрунтований вибір найбільш істотних характеристик МФЧ, які необхідно контролювати в процесі виготовлення. Передбачається проведення досліджень і вибір найбільш прийнятного методу контролю цих характеристик. В якості об'єктів досліджень будуть використані прототипи мікрофлюідних чіпів для електрофоретичного розділення проби, отриманих методом лазерної абляції поверхні полімеру, а також методом фотолітографії і кислотного травлення скляної підкладки. Будуть проведені вимірювання профілів каналів зазначених МФЧ. p align="justify"> Передбачається проведення вивчення та аналізу впливу основних технологічних похибок виготовлення МФЧ на його характеристики.
Будуть проведені дослідження з виявлення можливості спрямованого зміни властивостей поверхні (при фізичному і хімічній обробці) з метою поліпшення аналітичних характеристик мікрочіпа. p align="justify"> Отримані результати будуть піддані аналізу, в результаті якого будуть вироблені рекомендації для їх практичного застосування і розглянута перспектива подальших досліджень.
2. Обгрунтування і вибір параметрів, що визначають аналітичні характеристики мікрофлюідних чіпа
Щоб визначити і вибрати параметри, що визначають аналітичні характеристики мікрофлюідних чіпів слід розглянути технологію (методи) виготовлення мікрочіпових пристроїв і виділити стадії, які роблять визначальний вплив на отримувані структури.
2.1 Виготовлення скляних МФУ
Вихідна заготівля являє собою скляну пластину, на яку нанесено шар хрому (100-150 нм) і шар фоторезиста (0,56 В± 0,02 мм).
-й етап: розробка топології - малюнок з каналами, реакторами та ін структурами (CAD). p align="justify">-й етап: Виготовлення фотошаблона. p align="justify"> На даному етапі необхідно контролювати наступні параметри:
Гј фотошаблон - плоска структура, контролюються тільки розміри, відповідні плоским об'єктам;
Гј ширину каналу;
Гј довжину каналу;
Гј діаметр реакторів і мікрокамер;
Гј точність формування малюнка.
3-й етап: перенесення малюнка фотошаблона на заготовку під дією УФ-випромінювання. Застосування методу оптичної мікроскопії для контролю. Обробка розчинником (лугом). p align="justify">-й етап: зняття шару хрому. Профілометри. Оптична мікроскопія. p align="justify">-й етап: зняття експонованого фоторезисту. Оптична і інтерференційна мікроскопія, КЛСМ. p align="justify">-й етап: травлення скла. Швидкість травлення...
