ом травлення в 30% розчині лугу (КОН). По закінченні процесу травлення скляна підкладка промивалася в дистильованої воді до повного видалення трав'яно розчину.
Заглиблення хвилеводів проводилося за допомогою електростімулірованной міграції іонів Na + в скляну підкладку з розплаву солі NaNO3. Для цього на сторону скляної підкладки, вільну від хвилеводних структур, методом термічного вакуумного напилення наносилася плівка алюмінію завтовшки 1 мкм, що грає роль тонкопленочного катода в процесі електростімулірованной міграції іонів [11].
У процесі написання дипломної роботи були розглянуті два варіанти установок для проведення електростімулірованной міграції іонів: з горизонтальним і вертикальним розташуванням зразка (рисунок 22, 23).
Малюнок 22 - Схематичне креслення установки з горизонтальним розташуванням підкладки: 1 - піч; 2 - ізольовані дроти; 3 - нагрівач; 4 - термопара; 5 - термоконтроллер; 6 - штатив; 7 - столик; 8 - підкладка з нанесеним на неї катодом; 9 - розплав солі; 10 - платиновий анод; 11 - ємність для розплаву (алюміній); 12 - джерело живлення
Сіль 9 засипається в ємність для розплаву 11. Піч 1 розігрівається до необхідної температури нагрівачем 3, контроль за яким здійснює термоконтроллер 5 по ізольованим проводам 2, знімаючи показання температури розплаву з термопари 4. Зразок 8 поміщається на « човник »і притискається фосфор-бронзової пластиною, через яку подається напруга з джерела живлення 12 на поверхню зразка. Через платиновий анод 10 напруга подається безпосередньо в розплав. Човник кріпиться на штатив 6 строго паралельно площині розплаву. Для точного підведення до зіткненню поверхні розплаву з нижньою площиною зразка використовується столик 7, який піднімає піч, з розташованої в ній ємність з розплавом, до повного його зіткнення з нижньою площиною підкладки.
Основною перевагою даної конструкції є простота збірки і вилучення готового зразка з тримача, алюмінієва ємність для розплаву не вимагає зливати його після завершення досвіду, а витягти після повного охолодження.
Малюнок 23 - Схематичне креслення установки з вертикальним розташуванням зразка
оптика волоконний світловод фотолітографія
Підкладка затискається між двома частинами ємності для розплаву; в свою чергу між підкладкою і частинами ємності поміщаються тефлонові прокладки, які хімічно стійкі і є діелектриками. Вся ця конструкція затискається між двома сталевими пластинами, які стягуються кріпильними гвинтами. Наступним кроком, цей тримач поміщається в піч, вільний простір якої заповнюється піском для плавної зміни температури. У ємність з нержавіючої сталі поміщається сіль. При заданій температурі вона переходить в розплав, після чого прикладається задану напругу. Частини електрично ізольовані один від одного, а середовищем розділяє розплав виступає підкладка, в якій згодом і відбувається заглиблення хвилеводних середовищ.
Явним недоліком даної конструкції є складність її виготовлення, вилучення готового виробу з тримача. У конструкції використовується тефлон, що виділяє при температурі 400 ° С отруйний газ фтор.
Для проведення заглиблення хвилеводів було прийнято рішення використовувати класичний варіант установки з горизонтальним розташуванням зразка м...
