бхідного діаметра. Дана величина залежить від ряду параметрів, а саме від температури тигля, швидкості витягування і обертання монокристала. Температура тигля повинна бути постійною, близько 936 оС. Відхилення температури призведе до порушення структури злитка. На діаметр зливка впливає швидкість переміщення затравки. Чим більше швидкість переміщення, тим менше діаметр злитка. Обертання затравки і тигля так само впливає на діаметр і структуру монокристала. Переміщення тигля необхідно для підтримки постійної температури на межі розділу розплав-злиток. Так як при витягуванні монокристала розплавлений метал переходить в тверду фазу, його рівень в тиглі зменшується, і кордон розділу розплав-злиток переміщається щодо центральної точки печі. Для компенсації цього переміщення і необхідно вертикальний рух тигля.
.3 Вибір приладів і засобів автоматизації для АСУ ТП вирощування монокристалів германію
Вибір датчиків і нормують перетворювачів для систем автоматичного контролю та регулювання визначається:
- межами і необхідною точністю вимірювань;
- умовами роботи (запиленістю, наявність агресивних середовищ і т.д.);
- можливістю інтеграції з вже обраними приладами;
- номенклатурою пропонованих приладів.
2.3.1 Автоматичне регулювання температури тигля
Для реалізації АСР температури тигля використані наступні технічні засоби: Пірометр ПД6, контролер для можливості незалежного регулювання «Овен» ТРМ151, блок ручного управління БРУ22, міліамперметр М - 42301, тиристорний підсилювач потужності У13Н, електронагрівачі карбідокремніевие.
Пірометр ПД6 підходить по температурному діапазону, до того ж безконтактний метод вимірювання температури більш прийнятний у нашому випадку, тому що установка забезпечена заскленим отвором. Вартість - 29 040 руб.
Пірометр складається з двох частин: приймача ІЧ-випромінювання (оптичної головки) і блоку обробки сигналу, з'єднаних між собою за допомогою оптоволоконного кабелю, по якому від оптичної головки до блоку обробки сигналу передається випромінювання від об'єкта контролю. Для монтажу оптичної головки використовується спеціальний кронштейн, що поставляється в складі пірометрів.
Приймач ІЧ-випромінювання та оптоволоконний кабель витримують температуру до 150? С (короткочасно - до 200 ° С). Приймач ІЧ-випромінювання та оптоволоконний кабель не чутливі до впливу електромагнітних полів.
За рахунок того, що приймач ІЧ-випромінювання та блок обробки сигналу розділені між собою оптоволоконним кабелем, можливо розташовувати блок обробки сигналу в безпечній для нього зоні, а оптичну головку в безпосередній близькості від об'єкта контролю, що для нашого процесу необхідно. Гнучкий оптоволоконний кабель і маленькі габарити приймача ІЧ-випромінювання дозволяють вимірювати температуру у важкодоступних місцях.
Для наведення пірометра на об'єкт контролю температури пірометр забезпечений шеститочковими лазерним цілевказівником.
Оптичні елементи приладу виконані з кварцового скла. Оптоволоконний кабель не від'єднується від пірометра.
Таблиця 2.1 - Характеристики перетворювача пірометричної ПД - 6
