align="justify"> ІмяЗначеніе по умолчаніюЕдініци ізмереніяОпісаніеTC1000 ° CТемпература окісленія.TM1000сВремя окісленія.TAU100сНачальний часовий крок. Рекомендоване значення 30 сек. для температури 1200 ° С, 100 сек. для 1100 ° С, 200 сек. для 1000 ° С і 500 сек. для 900 ° С і менших. Для точного рішення на тонкій сітці рекомендоване значення в 2-10 разів менше, ніж вищевказані значення. Використовуйте меншу TAU якщо число нелінійних операцій перевищує 7OX1нетТіп атмосфери при відпалі: 1 - сухий кисень, 2 - вологе среда.POX1атмДавленіе окисляє середовища (кисню або пара) .XO0мкмПозіція маски окислення. Оксид росте в області від 0 до XO, якщо XO позитивна і від XO до XX якщо XO негативна. Для отримання однорідного окисла зробіть XO в кілька разів більше ніж XX.U00.001мкмНачальная однорідна товщина оксиду. Вона впливає на швидкість росту окісла.COMM Comm нетСтрока коментаря.
Таблиця 2.8. Параметри директиви Anneling
ІмяЗначеніе по умолчаніюЕдініци ізмереніяОпісаніеTC1000 ° CТемпература отжіга.TM1000сВремя отжіга.TAU100сНачальний часовий крок. Рекомендоване значення 30 сек. для температури 1200 ° С, 100 сек. для 1100 ° С, 200 сек. для 1000 ° С і 500 сек. для 900 ° С і менших. Для точного рішення на тонкій сітці рекомендоване значення в 2-10 разів менше, ніж вищевказані значення. Використовуйте меншу TAU, якщо число нелінійних операцій перевищує 7COMM Comm нетСтрока коментаря.
Таблиця 2.9. Параметри директиви Epitaxy
ІмяЗначеніе по умолчаніюЕдініци ізмереніяОпісаніеTC1000 ° CТемпература епітаксіі.TM2000сВремя епітаксіі.TAU1сНачальний часовий крок. Рекомендоване значення 30 сек. для температури 1200 ° С, 100 сек. для 1100 ° С, 200 сек. для 1000 ° С і 500 сек. для 900 ° С і менших. Для точного рішення на тонкій сітці рекомендоване значення в 2-10 разів менше, ніж вищевказані значення. Використовуйте меншу TAU якщо число нелінійних операцій перевищує 7PH1.0? 10 12 см - 3 Початкова однорідна концентрація фосфора.BO1.0? 10 12 см - 3 Аналогічно для бора.AS1.0? 10 12 см - 3 Аналогічно для мишьяка.TH1мкмТолщіна вирощуваного епітаксійного шару. Існуючий профіль легування зсувається на TH вглиб обсягу і розраховується теплове перерозподіл домішок під час епітаксії. Переконайтеся, що YY досить великий щоб не втратити прихований слой.COMM Comm нетСтрока коментаря
Таблиця 2.10. Параметри директиви Bandgap
СімволІмяЗначеніе по умолчаніюЕдініци ізмереніяОпісаніе CINT3.873? 10 16 см - 3 предекспоненціальний константа для власної концентрації. EINT1.5нетТемпературная експонента для власної концентрації. EGAP0.60474еВШіріна забороненої зони для власної концентрації.
Таблиця 2.11. Параметри директиви Diffusion parameters
СімволІмяЗначеніе по умолчаніюЕдініци ізмереніяОпісаніе DX0A22.9см 2/сПредекспоненціальная константа для миш'яку. DXEA4.1евЕнергія активації миш'яку. BETA100нетЕффектівность заряджених вакансій миш'яку. DX0B0.555см 2/секПредекспоненціальная константа для бору. DXEB3.42евЕнергія активації бору. BETB3.0нетЕффектівность заряджених вакансій бору. DX0P3.85см 2/сПредекспоненціальная константа для фосфору. DXEP3.66еВЕнергія активації фосфору. DMP4.4см 2/сПредекспоненціальная константа для фосфору. DMEP4.0еВЕнергія активації фосфору. DMMP44.2см 2/сПредекспоненціальная константа для фосфору. DMMEP4.37еВЕнергія активації фосфору.
Таблиця 2.12. Параметри директиви Oxidation enhances diffusion
СімволІмяЗначеніе по умолчаніюЕдініци ізмереніяОпісаніе OEA00.0см 2/сOED для миш'яку орієнтації (100) OEA10.0см 2/сOED для миш'яку орієнтації (111) OEB01.66? 10 - 5 см 2/сOED для бору орієнтації (100) OEB16.11? 10 - 6 см 2/сOED для бору орієнтації (111) OEP01.44? 10 - 5 см 2/сOED для фосфору орієнтації (100) OEP15.65? 10 - 6 см 2/сOED для фосфору орієнтації (111) OEE2.08еВЕнергія активації для OED OELDY25.0мкмПоказатель вертикальної координати для OED OELDX2.0мкмПоказатель горизонтальній координати для OED OEBOX0.3нетПоказатель швидкості окислення для OED
Таблиця 2.13. Параметри директиви Dry Oxidation
СімволІмяЗначеніе по умолчаніюЕдініци ізмереніяОпісаніе BD0.214мкм 2/сПараболіческая константа швидкості окислення в сухому О 2 BAD1730мкм 2/сЛінейная константа швидкості окислення в сухому О 2 BDE1.23еВПараболіческая енергія активації в сухому О 2 BADE2.0еВЛінейная енергія активації в сухому О 2 BPF0.75нетПоказатель ефективного тиску.
Таблиця 2.14. Параметри директиви Wet Oxidation
СімволІмяЗначеніе по умолчаніюЕдініци ізмереніяОпісаніе OR00.5...
