p>
А.1.1 Проведіть з'єднання пристрою «Ангара - 2» з ПК і з контрольно-вимірювальними приладами.
Перед роботою з пристроєм або після ремонту, необхідно провести калібрування пристрою «Ангара - 2».
Рекомендується кожного разу перед початком роботи проводити ТЕСТ - локальне вимір мідної шайби та доданого еталонного напівпровідникового зразка для встановлення відповідності виміряних значень зі значеннями на калібрувальної кривої (у разі збігів в межах 10% -устройство «Ангара - 2 »справно і готове до роботи.
А.2 Порядок роботи пристрою «Ангара - 2» в аналоговому режимі.
При відсутності ПК, або при збоях програмного забезпечення, а також при поломці модуля USB3000 питомий опір напівпровідникового зразка можна завжди виміряти в аналоговому режимі.
А.2.1 Проведіть з'єднання пристрою «Ангара - 2» з контрольно - вимірювальними приладами.
А.2.2 Увімкніть ЕБ за допомогою тумблера 220 В.
А.2.3 Увімкніть контрольно-вимірювальні прилади; осцилограф і цифровий вольтметр.
А.2.4 Увімкніть тумблер СВЧ
А.2.5 Дайте прогрітися контрольно- вимірювальних приладів та установці 30 хвилин
А.2.6 У центрі вимірювального столу закріпіть мідну шайбу
А.2.7 За допомогою кнопок керування кроковим двигуном по координаті Z опустіть СВЧ-резонатор на мідну шайбу
А.2.8 На лицьовій панелі буї переведіть тумблер ЕОМ в положення АВТ
А.2.9 На цій же панелі включіть тумблер ВИБРАЦИЯ. При цьому на екрані осцилографа повинні з'явитися дві резонансні криві, а цифровий вольтметр повинен индицировать значення напруги, відповідне сигналу на міді при даній температурі
А.2.10 Вимкніть тумблер ВИБРАЦИЯ
А.2.11 Підніміть за допомогою кнопок Z + і Z- СВЧ - резонатор над столом.
А.2.12 Замість мідної шайби закріпіть на вимірювальному столі досліджуваний напівпровідниковий зразок
А.2.13 За допомогою кнопок Z + і Z- опустіть СВЧ - резонатор на досліджуваний зразок
А.2.14 Увімкніть тумблер ВИБРАЦИЯ. При цьому на екрані осцилографа повинні з'явитися дві резонансні криві, а цифровий вольтметр повинен индицировать значення напруги, відповідне сигналу досліджуваного напівпровідникового зразка при даній температурі. Щоб визначити величину питомого опору цього зразка необхідно знати залежність пройшла через резонатор НВЧ потужності від значень питомого опору у всій області від 10-2 до 10 + 5 Ом · см. Для цього проводиться калібрування установки.
ДОДАТОК Б
Калібрування пристрою «Ангара - 2»
Для кремнію еталонні зразки перекривають майже весь діапазон, є від 100 до 1.104 Ом · см. Для більш високоомних зразків як кремнію так і германію, більш 103 Ом · см, калібрувальна крива розраховується за відомим співвідношенням:
(1)
де U o ( T ) - сигнал при температурі Т з резонатора, коли під вимірювальним отвором розміщена мідна шайба. В даному випадку це область кімнатних температур.
З цього виразу знаходиться коефіцієнт?
? (2)
де? i=10 + 3 - 10 + 4 останні високоомні значення еталонних зразків
Використовуючи отриманий коефіцієнт?, розраховуємо калибровочную криву від 103 до 105 Ом · см при кімнатній температурі за формулою 6.
Таким чином, ми побудували калибровочную залежність для всієї області значень питомих опорів. Варто відзначити, що побудованими таким способом калібрувальними кривими для кремнію і германію при кімнатній температурі можна скористатися при вимірюванні інших напівпровідникових матеріалів відповідно.
ДОДАТОК В
Методика вимірювання на приладі Байкал-SemiCon - 1 часу життя нерівноважних носіїв заряду (ННЗ) в пластинах і злитках полі- та моно- кремнію.
Метод. За спаду імпульсної фотопровідності на НВЧ.
Стандарт. ГОСТ
Датчик- резонатор квазістатичного типу з зовнішнім кільцевим вимірювальним отвором, включений на прохід. Область частот від 1.1 до 1.7 ГГц.
Фізика. Виміряні значення нерівноважних носіїв заряду, можуть бути як об'ємними так і ефективними.
Пластини. Коли товщина l пластини більше дифузійної довжини l=(1-3) Lg (але не толше) при освітленні зверху вимірюються об'ємні значення часу життя?. Якщо l lt; Lg вимірюється ефективний час життя носіїв заряду. При відсутності пластини - с...
