ію № 6 його питомий опір і час життя (малюнок 48).
. 2 Експериментальні результати. Висновки
Для вимірювання питомого опору зразка при різних темтемпературах СВЧ генератора, новий СВЧ блок був поміщений в кріостат. Цифровий датчик МПУ був закріплений на плату СВЧ генератора. За допомогою фена температура НВЧ генератора змінювалася від 25 до 50. При заливки рідкого азоту температура НВЧ генератора знижувалася від 25 до 0. При зміні температури від 0 до 50 фіксувався сигнал з детектора, і вимірювався час життя зразка № 6.
На малюнку 49 наведена експериментальна залежність напругу з СВЧ детектора при зміні температури НВЧ генератора від 0 до 50. З малюнка видно, що дійсно СВЧ генератор практично не змінює своїх параметрів ( Р вих, частоти генерації) в даній області температур.
Таким чином, новий розроблений СВЧ генератор дозволяє розширити працездатність приладу в області температур 10 - 40.
ВИСНОВОК
У ході дипломної роботи вивчено принципи роботи приладів для безконтактного виміру електрофізичних параметрів напівпровідників на НВЧ.
Розроблено новий СВЧ блок і його технічна документація.
Досліджено метрологічні характеристики приладу «SemiCon - 1».
Випущена серія СВЧ блоків.
Розроблений СВЧ блок дозволяє приладу працювати в більш широкому діапазоні температур (10 - 40) зберігаючи метрологічні характеристики.
Вартість розробленого СВЧ блоку порядку 4 тисяч рублів, що значно менше подібних пристроїв випускаються НПФ «Микран» та інших заводів виробників.
Список використаних джерел
1. Андронов Є.В. Генератор діапазону 1-2 ГГц з резонатором на зосереджених елементах для октавних синтезаторів частот/Є.В. Андронов, А.В. Горевий - Омськ .: ВАТ «ЦКБА», 2010. - C. 24-29.
. Andrei Grebennikov. RF and Microwave Transistor Oscillator design/John Wiley amp; Sons, Ltd.- Chichester: England, 2007. - 441 p.
. Rohde U.L. The Design Of Modern Microwave Oscillators For Wireless Applications/Ulrich L.Rohde, Ajay Kumar Poddar, Georg Bцck.- New Jersey, USA: John Wiley amp; Sons, Inc., 2005. - 543 p.
.Ковтонюк Н.Ф. Вимірювання параметрів напівпровідникових матеріалів./Н.Ф. Ковтонюк, Ю.А. Концевой- М .: Металургія, 1970.
5.Ахманаев В.Б. Резонатор для безконтактного виміру питомого опору напівпровідникових матеріалів/В.Б. Ахманаев, Ю.В. Медведєв, А.С. Петров М: Наука, 1981.- С. 48-51.
6.Лапатін Л.Г. Експресного визначення електрофізичних і ре- комбінаційних характеристик особливо чистого германію безконтактними методами/Л.Г. Лапатін А.С. Петров, І.І. Кисельов М .: ЦНІІато- мінформ, 1986. - 28 с.
7.Детінко М.В. Фізичні основи неруйнівного СВЧ- резонансного методу локального контролю електрофізичних параметрів напівпровідників/М.В. Дитинка, Ю.В. Медведєв, А.С.Петров.- Томськ: Изд-во ТГУ, 1988. - 30 с.
8.Лапатін Л.Г. Безконтактні методи і апаратура для вимірювання електрофізичних параметрів напівпровідників /Л.Г. Лапатін, С.Д. Воторопін.- Севастополь, 2005. - С. 791-792.
9.Miyamoto N. Contactless measurement of resistivity of slices of semiconductor materials/N. Miyamoto, J.Nishizawa-Research institute of electrical communication.- 1967. - P. 360-367.
10.Лапатін Л.Г. Фотоелектричні, рекомбінаційні і порогові характеристики охолоджуваних фоторезисторів з чистого германію з поверхневим вигином зон/Л.Г.Лапатін.- Дис. канд. фіз.-мат. наук.- Томськ, 1983. - 239 с.
ДОДАТОК А
Поз. ОбозначеніеНаіменованіеКол.Прімечаніе Резистори R10603 139 Ом1R20603 47 Ом1R3, R5 R7, R80603 288 Ом4R4, R6, R9, R100603 4,3 ОМ4 Конденсатори С40805 68 пФ2С2, С7, С60805 0,1 мкФ3С3, С80805 4,7 мкФ2С1, С50805 1000 ПФ2 Котушки індуктивності L10603 48 нГн1 Мікросхеми аналогові 1V585ME06-LF1U1SBB3089Z1 Вилки Х3WF - 3M2 Стабілізатор напруги V1ADP 3336ARZ1 Інша SMA 20-001A01ГенераторПоз. ОбозначеніеНаіменованіеКол.Прімечаніе Резистори R1, R20603 51 Ом2R4, R5 R6, R70603 10 кОм4R10, R140603 22 кОм2R160603 330 ОМ1 Конденсатори С4, С60805 1000 пФ2С7, С80805 100 пФ2С13, С140805 4,7 мкФ2 Діоди VD1HSMS - 286K1 Мікросхеми аналогові AD8051ART1 Вилки Х3WF - 2M1 Стабілізатор напруги V1ADP3330ARZ1 Інша SMA 20-001A02Кв.детектор
Порядок роботи з ІВК
А.1 Підготовка до проведення вимірювань питомого опору.
