/>
Малюнок 18 - Зображення плівки Co, нанесеної на підкладку Si при температурі 330 0С і Тисп=155 (а) і профілограмма ділянки А - Б (б); оптична профілометрія
3.4 Магнітні та електричні властивості плівок Co
За допомогою методу динамічної магнітно-силової мікроскопії (ЧСЧ) (кантилевер коливається з резонансною частотою) визуализировано просторовий розподіл по поверхні металевих плівок похідній магнітної сили, яка пропорційна другої похідної магнітного поля. Колірний контраст, спостережуваний на ЧСЧ-зображеннях, свідчить про наявність доменної структури. Слід зазначити, що через порівняно великої висоти пагорбів топографія поверхні плівок частково впливає на характер ЧСЧ-зображень.
Плівки кобальту, отримані при температурі випарника 120 0С, характеризуються слабо вираженою доменною структурою.
Крім відсутності доменної структури невисокі магнітні властивості в плівок Co підтверджують також петлі гістерезису, виміряні в напрямку осі легкого намагнічування.
Плівки Co, отримані при температурі підкладки 310 0С характеризуються порівняно вузькій петлею гистерезиса з низькими значеннями залишкової намагніченості і намагніченості насичення. Підвищення температури випарника до 330 0С сприяє двократного зростання намагніченностей плівок, проте їх величина залишається як і раніше невисокою. При цьому злегка збільшується коерцитивної сила, і петля гістерезису стає ширшою. Подальше підвищення температури підкладки до 350 0С призводить до різкого зменшення всіх магнітних характеристик плівок Co і до звуження петлі гістерезису. Однак при температурі підкладки, рівний 420 0С, досліджувані плівки характеризуються високими значеннями коерцитивної сили, залишкової намагніченості і намагніченості насичення, а також широкої петлею гистерезиса.
Підвищення температури випарника до 130 0С сприяє суттєвому зростанню величин залишкової намагніченості і намагніченості насичення плівок Co.
Максимальні значення залишкової намагніченості і намагніченості насичення спостерігаються в плівках Co, обложених при температурі підкладки Тподл=330 0С. Коерцитивна сила плівок Co, отриманих при температурі випарника 130 0С, залишається в цілому постійною і становить близько 6500 А/м. Однак плівок Co, отримані при температурі підкладки 320 0С, характеризується більш високою величиною коерцитивної сили. Варто відзначити, що підвищення температури випарника з 120 до 130 0С призвело також до уширению петлі гістерезису досліджуваних плівок.
Подальше зростання температури випарника знову призводить до зменшення магнітних характеристик плівок Co. Плівки Co, отримані в інтервалі температур випарника від 135 до 145 0С, характеризуються зниженими значеннями залишкової намагніченості і намагніченості насичення в порівнянні з плівками, обложеними при температурі випарника 130 0С. При цьому коерцитивної сила даних плівок несуттєво залежить від температури випарника і варіюється в межах 6500-7500 А/м. Підвищення температури випарника до 150 0С сприяє чотириразовому зростанню намагніченностей плівок Co, однак коерцитивної сила даних плівок залишається незмінною. Подальше збільшення температури випарника до 155 0С водночас зберігає зростання намагніченностей і сприяє різкого зменшення величини коерцитивної сили досліджуваних плівок Co.
Залежність питомого електричного опору плівок Co від температурних умов осадження представлена ??в таблиці 4. З таблиці видно, що для плівок з першої партії збільшення температури підкладки від 310 до 420 0С сприяє значному зростанню величини питомого електричного опору. Відзначимо, що при температурі підкладки, рівний 420 0С, питомий електроопір досліджуваних плівок порівнянно з опором кремнієвої підкладки, що пояснюється несплошностях даних плівок. Питомий електричний опір плівок з другої партії характеризується екстремальної залежністю від температури підкладки з мінімальним значенням при температурі Тподл=330 0С. Для плівок з третьої партії величина питомого електроопору має тенденцію до зменшення з ростом температури випарника.
Таблиця 4 - Коерцитивна сила Hc, залишкова намагніченість Mr, намагніченість насичення Ms і питомий електричний опір r плівок Co, отриманих при різних температурах випарника Тисп і підкладки Тподл.
Тисп, 0СТподл, 0СHc, А/мMr, emu/cм3Ms, emu/cм3 r, 10-6? * мПервая партія1203106000370,38120330750010150,46120350-- - 3,69120370 --- - 120420100004560-Друга партия130300650048520,361303106500901150,341303208600801000,1213033065001501750,07130340650078850,1Третья партия120330750010150,4613033065001501750,07135330700045640,05140330700060700,12145330750050650,1115033065002002500,0415533017003304500,04
3.5 Обговорення результатів
