3 334 -4000,009 Ag + 2,41,26 Срібна плівка-0, 001Ag + 2,41,26 Срібна плівка + ел. полі-0, 025
3. Імплантація іонів і бомбардування протонами
оптичний хвилевід дифузія скло
Відомо, що деякі матеріали змінюють свій показник заломлення під дією бомбардування іонами Ar + , He < span align = "justify"> + , Ne + , Li + з енергією від 7,5 кеВ до 2 МеВ. Однак, тільки кварцове скло змінює свій показник заломлення у бік збільшення в результаті бомбардування, Цей ефект успішно був використаний рядом авторів для виготовлення хвилеводів в кварцовому склі. Шляхом імплантації іонів Li + в кварцовому склі отримані хвилеводи з показником заломлення n = 1,493 і втратами 1,8 дБ/см. Щільність іонів склала 10 15 іонів/см 3 < span align = "justify">. Імплантація здійснювалася при температурі 220 В° С. Після додаткового відпалу при температурі 300 В° С протягом 1 години хвилеводи мали n = 1,468 і втрати до 0,2 дБ/см на ? = 0,63 мкм. Встановлено, що термічна обробка хвилеводів незначно змінює показник заломлення хвилеводу, але істотно зменшує втрати, що пов'язано з відпалом виникають у результаті бомбардування центрів забарвлення і розсіювання.
Хвилеводи в кварці можуть бути сформовані імплантацією іонів від гелію до вісмуту з енергією від 150 кеВ до одиниць МеВ при щільності іонів 10 16 іонов/см3 протягом декількох годин. Однак при виготовленні канальних хвилеводів іонної імплантацією постає питання про матеріал для маски.
Як маскуючий шару можна використовувати золоту плівку, товщиною I мкм. Золото наносився на поверхню плавленого кварцу шляхом термічного вакуумного напилення, а потім у золотий плівці фотолитографией витравляється конфігурація майбутнього хвилеводу. Така маска досить ефективна і повністю оберігає підкладку від проникнення бомбардують іонів.
Зміна показника заломлення залежить від інтегрального (за часом) потоку енергії і залежно від імплантованих іонів...
