ня, тривалість і частота проходження імпульсів (для імпульсного режиму).
При герметизації корпусів електронно-променевої зварюванням сумарна товщина відбортовки під зварювання повинна бути 0,4-0,8 мм, необхідна глибинапроплавлення, що забезпечує герметичність корпусу, - 0,5-0,8 мм, а ступінь перекриття зварних точок - 50-60% від їх діаметра (вона визначається їх розміром і кроком).
Ріс.1.20.Електронно-променева установка:
- високовольтний трансформатор, 2 - випрямляч, 3 - електронна гармата, 4 - катод, S - анод, 6 - електромагнітна фокусуються лінза, 7 - відхиляє, 8 - корпус напівпровідникового приладу, 9 - ходовий гвинт , 10, 11 - форвакуумний і дифузійний насоси, 12 - електродвигун приводу столика, 13 - столик. 14 - робоча камера. 15 - електронний пучок
Крок S=V/Tц,
де К -швидкість зварювання, Тц - час циклу.
Зварні шви, отримані даним способом, мають гладку або мелкочешуйчатого поверхню по всій довжині. Основним дефектом швів можуть бути непровари, що утворюються через збільшення зазору між зварюються крайками, зміщення лінії стику кромок відносно осі променя, недотримання технологічних режимів.
Спосіб герметизації електронним променем застосовується рідше через складність конструкції установок в порівнянні з іншими способами, що забезпечують якісну герметизацію.
Схема установки для герметизації електронним променем (рис. 111) включає катодний вузол 4, фокусуються лінзу 6, розміщену співвісно з катодом, анод 5 з отвором на шляху проходження променя. Відстань між катодом і анодом становить 10-15 см.
прікатодном фокусуючий електрод і анод 5 мають форму, що забезпечує таку конфігурацію електричного поля, яка формує електрони у вузький пучок (електростатична фокусування). Негативний потенціал катода 4 зазвичай становить від 20 до 200 кВ. Переривання і регулювання струму променя здійснюються подачею високої напруги (близько 3 кВ) на прікатодном електрод. Електроди після виходу з анода 5 фокусуються за допомогою лінзи 6: Сфокусований електронний пучок 15 направляється на кромки деталей герметизируемой корпусів 8 за допомогою відхиляючої системи 7. Для герметизації корпусів напівпровідникових приладів і мікросхем застосовують установки з різними технічними характеристиками
в) герметизація лазерним зварюванням
Сутність герметизації лазерним зварюванням полягає у спільному оплавленні з'єднуються матеріалів під дією інтенсивного світлового потоку (перекладом імпульсної світлової енергії в теплову) з утворенням шва (рис. 112).
Лазерна технологія в порівнянні з традиційними способами зварювання, застосовуваними для герметизації, володіє рядом переваг. Основна перевага лазерного випромінювання як джерела теплоти при зварюванні - можливість концентрації порівняно великих енергій на малих поверхнях в короткі проміжки часу, т. Е. Висока локальність процесу нагрівання. У результаті цього можна зварювати метал у безпосередній близькості від метало-скляних або металокерамічних спаїв, проводити герметизацію практично без термічного впливу на елементи і компоненти мікросхем і структури напівпровідникових приладів. Як уже зазначалося раніше, до переваг способу належить можливість легкого фокусування випромінювання звичайними оптичними системами. Для роботи лазерної установки не потрібно створення спеціальних середовищ (вакуум, захисна атмосфера), а лазерне випромінювання може проникати крізь оптично прозорі речовини (скло, кварц).
Для герметизації корпусів застосовують шовную лазерну зварювання, виконувану як в безперервному, так і в імпульсному режимах роботи лазера, тоді як точкове зварювання найчастіше використовується при приварюванні висновків і пайку тонких деталей.
Ріс.1.21 Схема герметизації корпусів лазерним зварюванням: 1 - оптична система, 2 - зварюються деталі, 3 - лампа накачування, 4 - активний елемент
Основними параметрами режиму лазерного зварювання є енергія лазерного випромінювання в імпульсі або потужність лазерного випромінювання, тривалість лазерного імпульсу, діаметр променя, частота проходження імпульсів і швидкість зварювання, які обумовлюють узагальнений енергетичний параметр - інтенсивність випромінювання в фокальному плямі:
,
де, - енергія лазерного випромінювання;-діаметр променя;- Тривалість лазерного імпульсу.
Для кожної пари з'єднуються металів існує граничне значення інтенсивності випромінювання в фокальному плямі, вище якого зварювання буде супроводжуватися значним випаровуванням металу із зони нагрівання або виплеском частини розплавленого металу. Оптимальні умови зварювання більшості поєднань металів (температу...
