ється відхилення довжини дуги не повинно перевищувати ± 0,1 мм.
Ріс.1.18 Схема герметизації корпусів аргонно-дуговим зварюванням: 3 - тепловідводи кришки і підстави, 2 - мікросхема, 4 - корпус касети, 5 - електрод, 6 - сопло пальника
Основними параметрами технологічного режиму аргонно-дугового зварювання є: зварювальний струм, швидкість зварювання, довжина дуги, тиск захисного газу в робочій камері.
Зварювальний струм і швидкість зварювання підбирають залежно від зварювальних металів і товщини крайок. Тиск захисного газу в зварювальної камері повинно бути 0,2-10 Па. Пересуваючи пальник 6 з електродом 5 уздовж касети із зібраними мікросхемами 2, здійснюють зварку у встановленому режимі. Перекриття шва відбувається на довжині 10-25% від його периметра з плавним зниженням струму до мінімального.
Крім технологічних режимів, важливе значення для якості зварювального з'єднання має підбір матеріалів, з яких виготовляють деталі корпусів. Наприме??, Якщо підстава зроблено зі сплаву 29НК, кришку слід виготовляти зі сплаву 29НК або нержавіючої сталі 1Х18Н9Т. Контроль зварного з'єднання здійснюється зовнішнім оглядом і перевіркою герметичності. Зварні шви повинні мати гладку або мелкочешуйчатого поверхню по всій їх довжині без видимих ??дефектів (непроварів, підрізів, пор, тріщин, незаплавлених кратерів).
Основні дефекти, виявлені при контролі швів зварних з'єднань, причини їх виникнення та способи усунення наведені в табл. 16.
Для герметизації інтегральних мікросхем аргонно-дуговим зварюванням розроблено ряд установок (технічна характеристика їх приведена в табл. 17), що забезпечують зварювання в наповнених захисним газом камерах в імпульсному або безперервному режимі.
Різновидом аргонно-дугового зварювання є мікроплазмове, застосовувана для герметизації корпусів з малою товщиною. Для зварювання цим способом використовується стиснене дугового розряд з інтенсивним плазмообразованіе (рис. ПЗ). Плазмова зварювання не має тих недоліків, які притаманні аргонно-дугового: порівняно великого активного плями і нестабільності при малих токах.
Плазмова дуга характеризується високими швидкостями потоку плазми і температурою стовпа. Для отримання дугового плазмового струменя використовують спеціальні плазмові головки, або плазмотрони, в яких є неплавким вольфрамовим електродом, ізольований від каналу і сопла, при цьому анодом зазвичай служить герметизируемой виріб
Ріс.1.19 Схема герметизації корпусів микроплазменной дугою: 1 - електрод, 2 - плазмообра-зующий газ, 3 - корпус пальника, 4 - захисний газ. 5 - тепло-відвід, 6 - зварювані кромки корпусу
Газова середу в плазмотроне виконує такі функції: захищає від окислення і охолоджує вольфрамовий електрод і сопло; забезпечує отримання стабільної плазмового струменя з необхідною температурою і швидкістю, а також максимальну теплопередачу до герметизируемой виробу.
Гази поділяються на плазмообразующий і захисні. Як плазмообразующего газу при микроплазменной зварюванні зазвичай використовують суміш Аг - Чи не чи Аг - Н2, а в якості захисного - аргон.
б) герметизація електронно-променевої зварюванням
Зварювання електронним променем у порівнянні з іншими видами має вигідні особливості - точне регулювання і управління тепловою енергією, локальний нагрів, висока чистота при зварюванні завдяки наявності вакууму, які дозволяють успішно застосовувати її для герметизації мікросхем.
Сутність герметизації електронно-променевої зварюванням полягає у формуванні безперервного зварного шва по всьому контуру корпусу за рахунок перекриваються зварних точок, що утворюються в результаті впливу нагрівання до температури плавлення сфокусованого електронного променя на відбортовку обертового корпусу (кришки і підстави). Нагрівання електронним променем здійснюється внаслідок перетворення кінетичної енергії прискорених електронів в теплову при гальмуванні в зварюваних металевих деталях.
На відміну від звичайних широко застосовуваних джерел теплоти, що виробляють нагрів теплопередачі через поверхні металу, вивільнення енергії при Електроннопроменева зварюванні відбувається в самому речовині, причому найбільш інтенсивне тепловиділення спостерігається на деякій глибині (порядку 1 мкм), тому теплової джерело можна вважати поверхневим.
Герметизацію електронно-променевої зварюванням можна виконувати в безперервному і імпульсному режимах, але переважніше в імпульсному, так як можлива герметизація з малою зоною термічного впливу.
Основними параметрами технологічного процесу є: прискорює напруга, діаметр електронного променя, швидкість зварюван...
