ж можна отримати обмежену кількість відбитків мікроструктур при використанні майстер-форм. Відхилення від розробленого технологічного процесу також здатне привнести у виріб певні спотворення і дефекти. Для запобігання подібного результату необхідно періодично контролювати характеристики репліцируємих виробів і оперативно усувати або коригувати виявлені джерела помилок. Також необхідно запобігати появі забруднень на матеріалі. p align="justify"> Для формування структур з більш складною топологією (канали, фільтри, змішувачі, реактори, в тому числі з багаторівневою архітектурою) високопродуктивним вважається метод високоенергетичного зовнішнього впливу, при якому матеріал видаляється з підкладки. Різні по енергії механізми впливу на підкладку реалізується завдяки високій щільності потужності лазерного випромінювання (10 14 -10 26 Вт/см 2 ). Варіюючи тривалість лазерних імпульсів, можна отримати структури з різними розмірами. При обробці зразка мілісекундного або мікросекундними лазерними імпульсами, реалізується наступний механізм взаємодії випромінювання з матеріалом: нагрівання-плавлення-випаровування матеріалу. Розміри одержуваних структур для такого виду обробки (діаметр/ширина) 50-250 мкм при товщині матеріалу до ~ 5 мм.
В
Рис. 2. Схема формування структур на полімері методом гарячого тиснення. p align="justify"> Для виготовлення структур розміром від десятків нанометрів до мікрометрів при товщині матеріалу до сотень мікрометрів, використовуються імпульси нано-та пикосекундной тривалості. У даному випадку розплавлена ​​фаза відсутня, а механізм руйнування матеріалу відбувається за схемою нагрів-абляція. p align="justify"> Використання ІЧ-лазерного променя для обробки полімеру (якщо полімер поглинає випромінювання цієї довжини хвилі) призводить до нагрівання поверхні до високої температури і випаровуванню матеріалу. До достоїнств ІЧ-лазерів слід віднести можливість отримання великих розмірів пучка, високої ефективності абляції і високої енергії випромінювання в імпульсі. br/>
.2.1 Лазерна абляція полімерів
Лазерна абляція (ЛА) (рис. 3) дозволяє здійснити швидке створення мікроканалах в ПММА, а при поєднанні з досить простими методами герметизації робочу систему можна отримати менш, ніж за 2 години. При ЛА полімерних матеріалів характеристики формованих мікроструктур залежать від довжини хвилі випромінювання, потужності лазера, геометрії світлового потоку, властивостей полімеру і середовища оточення. Отримана геометрія структури і її розміри залежать від оптичних параметрів установки і розбіжності лазерного променя. А характеристики та властивості структури залежать від фізико-хімічних властивостей полімеру, які визначають реакцію на ...
