[28]. p align="justify"> За допомогою МЛЕ було вирощено безліч нано-шарів, ниток і точок, які мають унікальні властивості для наноелектроніки. Їх можна використовувати в створенні напівпровідникових лазерів і чутливих фотодетекторов з квантовими ямами, сверхрешетках і квантовими точками в активній області, транзисторів з високою рухливістю електронів в каналі, нанотранзисторів, тунельно-резонансних діодів, одноелектронних приладів тощо
Однак існує ряд недоліків, які не дозволяють методом МЛЕ бути прийнятим для масового виготовлення гетероструктур. Надвисокий вакуум сприяє високій якості зростання тонких плівок, однак складність установки визначає високу енергоємність і дорожнечу експлуатації. Так само великою проблемою є швидкість росту плівок. Однак дослідження не стоять на місці, і, можливо, вже в недалекому майбутньому будуть вирішені основні проблеми застосування МЛЕ для широкого виробництва скоєних гетероструктур. br/>
СПИСОК ВИКОРИСТАНИХ ДЖЕРЕЛ
[1] Молекулярно-променева епітаксії і гетероструктури/під ред. Л. Ченга і К. Плог - М.: Видавництво "Світ", 1989. - 584 с. p> [2] Методи формування наноструктур при виробництві наноприладів: Учеб. Посібник. - Ч.1: Молекулярно променева епітаксії наношарів, нанониток і наночастинок/К.В. Малишев, Б.В. Стрільців, С.А. Мєшков. - М.: Изд-во МГТУ ім. Н.Е. Баумана, 2007. - 49 с. p> [3] Наноелектроніка/В.Є. Борисенко, А.І. Воробйова, Е.А. Уткіна. - М.: БИНОМ. Лабораторія знань, 2009. - 223 с.: Іл. - (Нанотехнологія). p> [4] Scribd [Електронний ресурс]. - Електронні дані. - Режим доступу:
[5] Реферати, дипломи, курсові [Електронний ресурс]. - Електронні дані. - Режим доступу:
[6] Connexions [Електронний ресурс]. - Електронні дані. - Режим доступу:
[7] Нанотехнології. Азбука для всіх. /За ред. Ю.Д. Третьякова. - М.: ФИЗМАТЛИТ. 2008 - 368 с. p> [8] КФТТ [Електронний ресурс]. - Електронні дані. - Режим доступу:
[9] Кафедра технічної фізики СібГАУ [Електронний ресурс]. - Електронні дані. - Режим доступу:
[10] Appropedia [Електронний ресурс]. - Електронні дані. - Режим доступу:
[11] Реферати. Російська електронна бібліотека [Електронний ресурс]. - Електронні дані. - Режим доступу: erudition.ru/referat/ref/id.17566_1.html
[12] "Фізики та студенти" електронний журнал [Електронний ресурс]. - Електронні дані. - Режим доступу:
[13] TASC [Електронний ресурс]. - Електронні дані. - Режим доступу:
[14] Усехі фізичних наук [Електронний ресурс]. - Електронні дані. - Режим доступу:
