p>
(3.11)
Розрахунки показують, що
M = 0.165, N = 0.000823, K = -0.0000014, L = 5.185 ? 10-10.
Дифузійне рух розпорошених атомів і значне реіспаренія адатомів, в проміжку між мішенню і підкладкою визначають досить складний механізм масопереносу [32]. Відповідно до цього механізму, на рис.3.1 схематично представлені розпорошений потік речовини J d, потоки речовини, які підходять безпосередньо до ростової поверхні j si, реіспарівшіеся з ростової поверхні потоки j ri і потоки речовини j ci, що переходять у сконденсоване стан. При цьому реіспарівшійся потік j r1, взаємодіючи з атомами робочого газу, частково знову повертається на ростовую поверхню у вигляді потоку j s2. У подальшому знову повернутий потік j s2 частково конденсується у вигляді поки j с2 і частково знову реіспаряется у вигляді потоку j r2. Такі повторення представляють собою нескінченний ряд затухаючих циклів і реалізуються тільки при підвищених тисках робочого газу і m <1. p> При цьому потік (рис.3.1) безповоротно втрачається за рахунок конденсації атомів на мішень або на стінки вакуумної камери.
В
Рис. 3.1. Модельні уявлення про масопереносу речовини при підвищених тисках робочого газу і малих коефіцієнтах конденсації. br/>
Розпорошений потік речовини J d і відповідний до підкладки первинний потік речовини j s1 (рис. 3.1) пов'язані співвідношенням:
(3.12)
де k 1 - залежний від тиску робочого газу коефіцієнт розсіювання потоку розпорошеного речовини. p> Очевидно при підвищених тисках робочого газу коефіцієнт k 1 <1. Такі важливі параметри, як J d і k 1 експериментально нами визначалися за допомогою порівняльного аналізу товщин конденсатів, отриманих при однакових потужностях розряду ( P w ~ 3.4 Вт), за однакові проміжки часу ( t з = 4 години.), але при різних тисках робочого газу (0.5 та 5 Па). При проведенні цих двох експериментів конденсація вироблялася на відколи KCl при кімнатній температурі. Відносно низька температура ростової поверхні сприяла тому, що коефіцієнт конденсації в обох експериментах дорівнював одиниці ( m 1 = 1). При тиску робочого газу 0.5 Па довжина вільного пробігу розпорошених атомів становила ~ 200 мм [33], що перевершує відстань мішень-підкладка. Отже, для тиску робочого газу 0.5 Па коефіцієнт розсіювання розпорошеного потоку дорівнював одиниці ( k 0 = 1). p> Другий експеримент проводився при підвищеному тиску робочого газу (~ 5 Па). Такі умови проведення експерименту сприяли зниженню коефіцієнта розсіювання до значення k 1 <1. Отримані в двох експериментах товщини конденсатів d 1 і d 2 нами визначені експериментально на підставі вивчення за допомогою РЕМ їх поперечних зламів. Поряд з цим значення d
