нденсату.
Для визначення J c ( t ) скористаємося системою рівнянь
(3.1)
(3.2)
(3.3)
(3.4)
де N ( t i ) - кількість атомів, сконденсованих в момент часу t i на одиничному поверхні підкладки, яке можна оцінити на підставі структурно-морфологічних характеристик конденсатів. p> Встановлено, що
N ( t 1) = (4.5 В± 0.4)? 1021 ат./м2, N ( t 2) = (1.6 В± 0.5)? 1022 ат./м2, N ( t 3) = (2.1 В± 0.7)? 1021 ат./м2 і < i> N ( t 4) = (2.7 В± 0.9)? 1022 ат./м2 де t 1 = 300 c, t 2 = 900 c, t 3 = 1200 c і t 4 = 1500 c. br/>
У подальше будемо шукати швидкість нарощування конденсату у вигляді залежності
(3.5)
На підставі відомих N ( t i ) і рішення системи рівнянь (3.1) - (3.4) встановлено, що
А = 3.6? 1018, В = 9.718? 1016,
З = -1.144? 1014 і D = 3.786? 1010.
На початковому етапі формування конденсату потік осаждаемого речовини умовно можна розділити на дві частини. Перша з них потрапляє на вільну від конденсату поверхню підкладки. Надалі будемо вважати, що середній коефіцієнт конденсації атомів нікелю на чистій поверхні підкладки приймає значення m 0. Друга частина осаждаемого потоку потрапляє на поверхню вже сформованого конденсату. Нехай у цьому випадку середній коефіцієнт конденсації нікелю становить величину m . Гетеронуклеація кластерів нікелю на поверхні KCl відбувається згідно з механізмом Фольмера-Вебера. З цієї причини спостерігається переважне закріплення адатомів на вже сконденсованої фазі (рис. 2.2), тобто m >> m 0. p> Відносна частина площі F ( t ), для якої коефіцієнт конденсації дорівнює m 0, визначається співвідношенням
(3.6)
де S 1 ( t ) і S 2 ( t ) відповідно площі вільної поверхні підкладки і поверхні конденсату. p> Рівномірний розподіл осаждаемого потоку за сумарною площею визначається підвищеним тиском робочого газу і відповідним дифузійним характером переміщення розпорошених атомів. p> На підставі геометричних характеристик отриманих конденсатів встановлено, що
F ( t 1) = 0.3, F ( t 2) = 0.15, F ( t 3) = 0.033 і F ( t 4) = 0. br/>
Зміна в часі відносної частини вільної від конденсату
площі підкладки можна представити у вигляді функцій:
(3.7)
де M, N , K, L деякі постійні, які були визначені на підставі системи рівнянь
(3.8)
(3.9)
(3.10)
