тандартів і технології (США) застосував цей метод, щоб виготовити решітку з хромованих точок на маленькій кремнієвої пластині. Розмір точки - всього 80 нм - значно менше роздільної здатності, забезпечувана ультрафіолетовими променями. З подальшим розвитком цієї технології стане можливим розміщення 2 млрд інтегральних схем на площі в 1 см 2 всього за кілька хвилин. p> В основі цієї технології лежить використання в якості лінзи лазерного променя. Щільний вузький пучок атомів хрому, одержуваний при нагріванні навішення хрому в НВЧ-печі, пропускають крізь пучок лазерного випромінювання, частота якого близька до частоти власних коливань атомів хрому. У результаті атоми втрачають енергію, тобто охолоджуються. Безпосередньо перед кремнієвої підкладкою ці атоми потрапляють в ще один лазерний пучок - приблизно тієї ж частоти, що і перший. Будучи відбитим від дзеркала, цей пучок утворює стоячу хвилю, тобто хвилю, пучності й вузли якої фіксовані в просторі.
Натрапивши на таку стоячу хвилю, атоми хрому змушені рухатися або вгору, до гребеня хвилі, або вниз, до вузлу між гребенями. Таким чином, хвиля грає роль лінзи, відхиляючи проходять крізь неї атоми від прямої траєкторії на половину довжини хвилі і вибудовуючи їх в акуратні лінії на поверхні кремнієвої пластини. Якщо пластину висвітлити двома взаємно лазерними пучками, як це зробив Макклеланд, лінії перетворяться на правильну сукупність точок - грати. Наступний етап - сканування лазером поверхні для створення довільного малюнка інтегральних наносхем.
Впровадження даної технології в промисловість пов'язано, однак, з низкою невирішених проблем:
- НЕ всі атоми фокусуються;
- ймовірно, буде неможливо стравлювати матеріал, не руйнуючи малюнка сполук.
Проте, можливість створення схем з шириною лінії малюнка в 10 разів меншою, ніж сьогоднішні, дозволяє вважати дану технологію досить перспективною.
Лазерна чистка нанотрубок
Вуглецеві нанотрубки (УНТ) внаслідок свого незвичайного кристалічної будови мають унікальні електричними і механічними властивостями. Зокрема, завдяки ним УНТ мають величезна кількість застосувань. Властивості УНТ, що не очищених від забруднень, з'являються в процесі синтезу, в значній мірі втрачаються. Тому постійно зростає потреба в хімічно чистих недефектного нанотрубках, однак очистити УНТ від шару аморфного вуглецю, що покриває всю їх поверхню, виявляється вкрай складно і дорого. Можливе рішення цієї проблеми знайшли вчені з Політехнічного Інституту Вірджинії (Virginia Polytechnic Institute): вони виявили, що промінь лазера певної частоти ефективно і швидко видаляє аморфний вуглець, не пошкоджуючи при цьому самі нанотрубки. p> Відкриття було зроблено випадково: дослідники використовували лазер для калібрування чутливості покритих вуглецевими нанотрубками детекторів, не підозрюючи про його здатність чистити нанотрубки. Виявилося, що ультрафіолетове світло довжиною хвилі 248 нм від ...
